Scientific & technical publications in journals
- T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153
- Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II
- Th. Fabula, A. Schroth: „Simulation des dynamischen Verhaltens mikromechanischer Membranen“, VDI-Fachtagung für Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik, TU Chemnitz, 16.-18. März 1992, erschienen in: VDI-Bericht 960, VDI-Verlag Düsseldorf (1992)
- M. Alavi, Th. Fabula, A. Schumacher, H.-J. Wagner: „Monolithic Microbridges in Silicon Using Laser Machining and Anisotropic Etching“, EUROSENSORS VI, San Sebastian (1992), veröffentlicht in Sensors and Actuators A, 37-38 (1993) 661-665
- Th. Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung resonanter Sensoren“, in: Abschlußbericht zum BMFT-Verbundprojekt „Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren“, VDI-VDE Technologiezentrum Informationstechnik GmbH, Berlin (1993)
- H. Bartuch, S. Büttgenbach, Th. Fabula, H. Weiss: „Resonante Silizium-Sensoren mit elektro-thermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie“, Tagungsunterlagen SENSOR 93, Band 2 (1993) 17-24
- G. Wachutka, H. Pavlicek, T. Fabula, N. Hey, H. Haffner, T. Feudel, R. Strecker: UETP-MEMS, CAD Tools for MEMS, Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Schweiz (1994)
- Th. Fabula, H.-J. Wagner, B. Schmidt, S. Büttgenbach: „Triple-Beam Resonant Silicon Force Sensor Based on Piezoelectric Thin Films“, EUROSENSORS VII, Budapest (1993), veröffentlicht in Sensors and Actuators A41-42 (1994) 375-380
- A. Schumacher, Th. Fabula, H.-J. Wagner and M. Alavi: „Monolithic Bridge-on-Diaphragm Transducer with Piezoelectric Excitation Fabricated by Laser Micromachining“, EUROSENSORS VII, Budapest (1993)
- K. Funk, T. Fabula, G. Flik and F. Lärmer: „Piezoelectrical driven resonant force sensor: fabrication and crosstalk“, Proc. MME’94, Pisa, Italy (1994)
- H. Bartuch, S. Büttgenbach, S. Dagenbach, T. Fabula, D. Fischle, G. Flik, W. Hartig, F. Lärmer, K.P. Selig, H.-J. Wagner: Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren. Reihe Innovationen in der Mikrosystemtechnik, Band 7. Teltow: VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik GmbH (1994)
- T. Fabula, H.-J. Wagner, A. Prak: UETP-MEMS, „Resonant Microsensors“, Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Schweiz (1994)
- A. Schumacher, M. Alavi, Th. Fabula, B. Schmidt, H.-J. Wagner: „Monolithic Bridge-on-Diaphragm Microstructure for Sensor Applications“, Proc. Micro System Technologies 94, Berlin (1994) 309-316
- S. Büttgenbach, Th. Fabula, B. Schmidt, H.-J. Wagner: „Resonant force and pressure microsensors“, SENSOR 95, Nürnberg
- H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt: „Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications“, Micro System Technologies 1 (1995) 191-195
- S. Büttgenbach, Th. Fabula, B. Schmidt, H.-J. Wagner: “Resonant Force and Pressure Microsensors”, A01.3 Proceedings Sensor 1995, Nürnberg, May 9-11
- Th. Fabula and S. Büttgenbach: „Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors“, Sensors and Materials, Special Issue Resonant Microsensors Sensors and Materials, Vol. 9, No. 8 (1997) 501-519 invited paper
Presentations and Invited Papers
- “Aufbau und Entwicklung eines PC-Meßwert-Merfassungssystems für die HF- und Laser-Spektroskopie”, Diplomkolloquium, IAP Bonn, Prof. Dr. Siegfried Penselin, 18. August 1987
- T. Fabula, S. Büttgenbach, T. Brenner, W. Rupprecht: “Echtzeit-Meßwerterfassungssysteme für die Hochfrequenz- und Laserspektroskopie“, Vortrag A-5.4 Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft (DPG), Bonn, 23. März 1988
- “Dynamische FEM-Rechnungen an resonanten Quarz-Kraftsensoren”, BMFT-Projekt Statusbesprechung, Robert Bosch GmbH, Gerlingen-Schillerhöhe, 17. Januar 1990
- “FEM-Simulationsrechnungen an Mikrostrukturen”, Posterdarstellung Micro System Technology 90, ICC Berlin, September 1990
- Th. Fabula, B. Schmidt: „Modellierung mikromechanischer Sensoren mit der Methode der Finiten Elemente“, Mikrosystemtechnik, Fachausschuß Mikrosystemtechnik VDE/VDI-Gesellschaft, Stuttgart-Büsnau, 16. Januar 1991
- „Einsatz der Finite-Elemente-Methode zur Simulation mikromechanischer Komponenten“, Atomphysikalisches Kolloquium, Institut für Angewandte Physik der Universität Bonn, Profs. S. Penselin, W. Urban, W. Ertmer, 7. Januar 1992
- “Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik”, Fortbildungsseminar: “Technologien zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente”, Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik, Villingen-Schwenningen, 17.-18. Februar 1992
- “Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen”, Industry-University-Workshop on Numerical Modelling and Simulation of Sensors, Swiss Federal Institute of Technology, ETH-Zürich, 17. September 1992
- “Dynamische Berechnungen in der Mikromechanik – Simulation / Messung“, ANSYS Users´Meeting, Arolsen, 28.-30. Oktober 1992
- “Finite-Element-Modellierung in der Mikromechanik“, Institut für technische Akustik der Technischen Universität Dresden, Prof. Dr.-Ing. habil. Arno Lenk, 2. Dezember 1992
- Th. Fabula, N. Hey, K. Hiltmann, H. Pavlicek, I. Rehfeld: “Dynamische FE-Berechnungen / Gekoppelte Feldberechnungen / Erforderliche Rechner- und Programmausstattung / Praktische Übungen”, im Fortbildungsseminar: “Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik”, Institut für Mikro- und Informationstechnik, Villingen-Schwenningen, 10.-11. Dezember 1992
- “Finite-Elemente-Modellierung resonanter Sensoren”, Öffentliches Abschlußseminar zum BMFT-Verbundprojekt “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren”, Villingen-Schwenningen, 31. März 1993
- B. Schmidt, Th. Fabula: “Charakterisierung piezoelektrischer Dünnschichten durch resonante Strukturen”, Mikrotechnik Arbeitskreis KfK, Karlsruhe, 27. April 1993
- Th. Fabula, N. Hey, S. Messner: “Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors”, CADFEM Users´ Meeting, Bamberg, 27.-29. Oktober 1993
- M. Freygang, Th. Fabula, “Schwingungsmessungen an mikromechanischen Bauelementen“, Laservibrometerseminar, Polytec GmbH, Waldbronn, 14.-15. Juni 1994
- A. Bakic, T. Fabula, “CAD-FEM-Kopplung am Beispiel von CATIA und ANSYS“, 13. CADFEM-Users´ Meeting, Bad Wildungen, 25.-27. Oktober 1995
- FEM-Tag: “Einsatz der Finite-Element-Methode in der Produktentwicklung – Integration von Berechnungsverfahren in den Konstruktionsprozeß”, Dortmund, 21. November 1995
- Seminar: Mikrotechnik im Automobil, „Designoptimierung mikrotechnischer Sensoren mit FE-Modellierung“, Haus der Technik e.V., Essen, 13.-14. Februar 1996
- Fachtagung: Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, „Optimierung resonanter mikromechanischer Sensoren für mechanische Größen“, FH München, 12. März 1996
Patent
Monolithisch integriertes Halbleiterelement, dessen Verwendung sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterelementes, Deutsche Patentanmeldung, DE 4332653, September 1994
