Einsatz der Finite-Elemente Methode
zur Simulation mikromechanischer Komponenten

 

Dipl.-Phys. Thomas Fabula

 

Atomphysikalisches Kolloquium

Institut für Angewandte Physik

Universität Bonn

 

7. Januar 1992

 

Mikromechanik

“… befaßt sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung dreidimensionaler mechanischer Stru­k­turen und Systeme, deren Abmessungen in min­destens einer Dimen­sion so klein sind, daß feinmechanische Formgebungsverfahren nicht mehr sinnvoll eingesetzt werden können.”

IAP-Bonn

Institut für Angewandte Physik der Universität Bonn, vertreten durch:


www-iap.uni-bonn.de

 

Retrospective

Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen

Simulation mikromechanischer Membranen

Modellierung Mikrosysteme