Einsatz der Finite-Elemente Methode
zur Simulation mikromechanischer Komponenten
Dipl.-Phys. Thomas Fabula
Atomphysikalisches Kolloquium
Institut für Angewandte Physik
Universität Bonn
7. Januar 1992
Mikromechanik
“… befaßt sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung dreidimensionaler mechanischer Strukturen und Systeme, deren Abmessungen in mindestens einer Dimension so klein sind, daß feinmechanische Formgebungsverfahren nicht mehr sinnvoll eingesetzt werden können.”
IAP-Bonn
Institut für Angewandte Physik der Universität Bonn, vertreten durch:
- Professor Dr. Siegfried Penselin
- Professor Dr. Wolfgang Urban
- Professor Dr. Wolfgang Ertmer