Dissertation Meßplatz

Deep Technology, R&D, Wissenschaft

Promotion Anhang Experimenteller Aufbau Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurden experimentelle Meßaufbauten zur meßtechnischen Charakterisierung des statischen und dynamischen Verhaltens mikromechanischer Strukturen konzipiert und aufgebaut. Um den Entwicklungsprozeß mikromechanisch gefertigter Mikroresonatoren im Rahmen des BMFT-Verbundprojektes auch meßtechnisch unterstützen zu können, mußten insbesondere neben den passiven Eigenschaften (Resonanzfrequenz, Amplituden, Schwingungsgüten) der Mikroresonatoren aus Silizium, die Sensoreffekte…

Promotion Schlussbetrachtung

Deep Technology, Innovation, R&D, Wissenschaft

Dissertation Schlussbetrachtung Die Anforderungen an den Entwurf bei der Entwicklung von mikromechanischen Bauelementen bedingen den Einsatz rechnergestützter, numerischer Berechnungsmethoden, um sich überlagernde nichtlineare Effekte, anisotrope Materialeigenschaften und die elektro-thermo-mechanischen Wechselwirkungen bei Mehrschichtsystemen beschreiben zu können. So kann beispielsweise die Optimierung mikromechanischer Resonanzsensoren nur unter gleichzeitiger Betrachtung der statischen und dynamischen Eigenschaften unter Berücksichtigung des physikalischen…

PhD-Thesis

Innovation, R&D, Univ, Wissenschaft

Dissertation in Physik   ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation   Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der Regel…

Dissertation – Einleitung

Deep Technology, R&D, Univ, Wissenschaft

Dissertation  Einleitung   Inhalt Die vorliegende Arbeit ist Teil eines BMFT-Verbundprojektes (Förderkennzeichen: 13~AS~0114), das am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung durchgeführt wurde, in dessen Rahmen frequenzanaloge mikromechanische Sensoren entworfen und hergestellt wurden. Ziel der vorliegenden Doktorarbeit war es, numerische Berechnungsmodelle zu entwickeln und verschiedene experimentelle Meßmethoden einzusetzen, um das dynamische…