The year 2023 in spotlights As the year is coming to an end, it is time to review and evaluate the past year. In 2023, we were very engaged and successful in various projects, both with our clients and in the social, and philanthropic sector, including Rotary Cologne and the ReDI School NRW for…
Managing multi-disciplinary challenges In the workshop with the ReDI-School NRW team at @Startplatz in Düsseldorf, we dealt with the challenges that managers face every day. We focused on the problems and issues, which were backed up with concrete examples from everyday life in the course programme. Venue The start-up incubator and accelerator…
Problem-solving workshop Future Skills for the DeepTech Industry “NRW is home to the medium-sized manufacturing industry, Mechanical engineering and plant technology, the automotive and supplier industry, and information and telecommunications corporations (ICT). Data science, i.e. data analysis, machine learning (ML), artificial intelligence (AI), as well as industrial Internet of Things (IIoT), cloud &…
GitHub repositories We make our program codes and numerical simulation models (FEM, CFD), which we have developed over time, available to the public in the sense of open source collaboration. We have also compiled the experimental measurements of our relevant scientific work as Open Data. | Open Source | Open Data | Open Access…
Publications Papers in scientific & technical journals T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153 Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II Th. Fabula, B. Schmidt: „Modellierung mikromechanischer Sensoren…
Forschungsarbeiten Dynamische FEM Simulationen Diplomand: Andreas Schroth Titel: Modellierung mikromechanischer Membranen Diplomarbeit TU Chemnitz, Fachbereich Elektrotechnik / HSG-IMIT Ort: VS-Villingen Jahr: 1992 Simulation mikromechanischer Membranen Optischer Messplatz für MEMS-Strukturen Diplomand: Michael Müller Titel: Aufbau und Inbetriebnahme eines optischen Meßplatzes zur Charakterisierung von resonanten mikromechanischen Strukturen Diplomarbeit: FH Furtwangen, Fachbereich Feinwerktechnik / HSG-IMIT Ort: VS-Villingen…
MEMS and resonant sensors UETP-MEMS Course: Resonant microsensors Thomas Fabula, Hans-Joachim Wagner, Institute of Microstructure and Information Technology (IMIT), Villingen-Schwenningen, Germany Albert Prak, MESA Research Institute, University of Twente, Enschede, The Netherlands Introduction to MEMS and resonant sensors 1.1 Micro-electro-mechanical-systems The capability of microelectronics has been increased about more than thirty years concerning geometrical size,…
UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project Objectives Resonant structures are one of the mostly used techniques in sensor applications. High accuracy and cost effective signal processing are the key features of resonant sensors. By the end of the course, the participants will have a greater understanding of…
Silizium Mehrfachbalken-Resonatoren Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Dipl.-Phys. Hans-Joachim Wagner, Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. (HSG-IMIT) Abschlussbericht Frequenz-analoge Kraftsensoren in Silizium mit quasi-digitalem Frequenzausgang werden vorgestellt. Der Kraft empfindliche Resonator wird durch eine membranartige Dreifachbalkenstruktur (Dicke = 25 µm) realisiert. Die Anregung der Resonanzschwingungen des im antisymmetrischen Grundmode (äußere Balken gegenphasig zum inneren Balken)…
Robert Bosch GmbH Abschlussbericht Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Im Rahmen des BMFT-Verbundprojekts: “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” wurden bei BOSCH die Grundlagen frequenzanaloger Druck- und Kraft-Sensoren in Silicium mit Fremdanregung durch piezo-elektrisches Zinkoxid erarbeitet. Die Integration des piezoelektrischen Materials in mikroskopisches Verfahrensabläufe wurde erreicht und geeignete Batch-Prozesse entwickelt, die in der Folge…