Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik
Dipl.-Phys. Thomas Fabula
Fortbildungsseminar
“Technologien zur Herstellung
mikromechanischer Bauelemente”
Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik
Villingen-Schwenningen
17.-18. November 1991
Abstract
Das Seminar gibt einen detaillierten Überblick über die Technologien, die bei der Herstellung mikromechanischer Bauelemente Verwendung finden und zeigt darüber hinaus einige exemplarische Anwendungsmöglichkeiten im Hinblick auf neue innovative Produkte auf.
Es ist konzipiert für Physiker, Ingenieure und Techniker, die im Bereich Forschung und Entwicklung tätig sind. Es werden aber auch Führungskräfte angesprochen, die, bedingt durch Aufgaben im Bereich des Managements, einen Überblick über diese Technologien benötigen. Vorkenntnisse aus dem Bereich Halbleitertechnologie sind hilfreich, aber nicht Voraussetzung.
DLZ Mikromechanik
Eine Aktivität des Dienstleistungszentrums Mikromechanik, unterstützt im Rahmen des Förderschwerpunkts Mikrosystemtechnik des Bundesministeriums für Forschung und Technologie.
Technologies for the production of micromechanical components
The seminar gives a detailed overview of the technologies used in the production of micromechanical components (MEMS) and also shows some exemplary application possibilities with regard to new innovative products.
It is designed for physicists, engineers and technicians working in research and development. But it also addresses executives who, due to management tasks, need an overview of these technologies. Previous knowledge of semiconductor technology is helpful, but not a prerequisite.
An initiative of the Micromechanics Service Center, supported by the Microsystems Technology funding priority of the German Federal Ministry of Research and Technology.
