Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik
Dipl.-Phys. Thomas Fabula
Fortbildungsseminar:
“Technologien zur Herstellung
mikromechanischer Bauelemente”
Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik
Villingen-Schwenningen
17.-18. Februar 1992
Das Seminar gibt einen detaillierten Überblick über die Technologien, die bei der Herstellung mikromechanischer Bauelemente Verwendung finden und zeigt darüberhinaus einige exemplarische Anwendungsmöglichkeiten im Hinblick auf neue innovative Produkte auf.
Es ist konzipiert für Physiker, Ingenieure und Techniker, die im Bereich Forschung und Entwicklung tätig sind. Es werden aber auch Führungskräfte angesprochen, die, bedingt durch Aufgaben im Bereich des Managements, einen Überblick über diese Technologien benötigen. Vorkenntnisse aus dem Bereich Halbleitertechnologie sind hilfreiche, aber nicht Voraussetzung.
Eine Aktivität des Dienstleistungszentrums Mikromechanik, unterstützt im Rahmen des Förderschwerpunkts Mikrosystemtechnik des Bundesministeriums für Forschung und Technologie.