Air Quality-as-a-Service

Am 21. September 2017 fand der Kickoff-Workshop zum Ausgründungsvorhaben im Rotonda Business Club Köln statt. Unter der Leitung von Univ.-Professor (emeritus) Dr. Ulrich Trottenberg diskutierten wir in einer Expertenrunde unter Beteiligung von Prof. Dr. Andreas Wahner (FZ Jülich), Privatdozent Dr. Hendrik Elbern (RIU Köln) und weiteren wissenschaftlichen, sowie industriellen außer-universitären Fachleuten die Möglichkeiten und Herausforderungen…

PLM Future

Die 4. PLM Future Tagung stand unter dem Titelthema „Systems Lifecycle Management – Modellbasiertes Systems Engineering für eine innovative Systementwicklung“. Die Tagung fand am 19. November 2012 im Technoseum Mannheim statt. Veranstalter war der Lehrstuhl für Virtuelle Produktentwicklung (VPE) der Technischen Universität Kaiserslautern unter der Leitung von Prof. Dr.-Ing. Martin Eigner. Das Tagungsprogramm bot neben…

ANSYS Conference & CADFEM Users’ Meeting

Fachkonferenz zur 
Numerischen Simulation in der Produktentwicklung fand vom 19. bis 21. Oktober 2011 im ICS Internationalen Congresscenter Stuttgart statt.   Neben der umfangreichen Konferenz, mit den aktuellen Themen zu CAE, FEM, CFD und PLM, rundete ein Besuch des Kompaktseminars: “Robust Design Optimierung von Multiphysik Anwendungen” die ANSYS Conference und das 29. CADFEM Users´ Meeting…

Resonant Microsensors

Invited paper for “Sensors and Materials”   Special Issue : Resonant Microsensors   Title: Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors Authors: Thomas Fabula and Stephanus Büttgenbach Year of publication: 1997 Volume: 9 Number: 8 Pagination: 501-519   Keywords beam-on-diaphragm, pressure sensor, electromechanical coupling factor, finite-element modeling, modal analysis, mode coupling, piezoelectric thin films, resonant…

Publications

Scientific & technical publications in journals T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153 Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II Th. Fabula, A. Schroth: „Simulation des dynamischen Verhal­tens…

FEM-Simulation in Feinwerk- und Mikrotechnik

Fachtagung: Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, FH München   Optimierung resonanter mikromechanischer Sensoren für mechanische Größen   Der Vortrag geht auf die numerische und experimentelle Untersuchung des statischen und dynamischen Verhaltens resonanter Mikrosensoren ein. Den Schwerpunkt bildet die Simulation frequenzanaloger Druck- und Kraftsensoren auf der Basis resonanter, mikromechanischer Silizium-Bimorphstrukturen, sowie die Charakterisierung…

Monolithic BOD-structure

Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications     Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt   Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195   Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining…

PhD-Thesis

Dissertation in Physik   ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen – Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation   Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der…

COMETT-Course Resonant Microsensors

UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project   Objectives Resonant structures are one of the mostly used techniques in sensor applications. High Accuracy and cost effective signal processing are the key features of resonant sensors. By the end of the course, the participants will have a greater understanding of…