30y anniversary of MEMS semiconductors

Piezoelectric Silicon Sensors & Actuators     HighTech experience that counts This project list contains a selection of projects that demonstrate our profound, long-term experience in product development and management of more complex technology projects in high-tech industries, namely in the areas of: Sensors & Actuators, MEMS & Semiconductor Manufacturing, including the semiconductor industry, as…

Air Quality-as-a-Service

Am 21. September 2017 fand der Kickoff-Workshop zum Ausgründungsvorhaben im Rotonda Business Club Köln statt. Unter der Leitung von Univ.-Professor (emeritus) Dr. Ulrich Trottenberg diskutierten wir in einer Expertenrunde unter Beteiligung von Prof. Dr. Andreas Wahner (FZ Jülich), Privatdozent Dr. Hendrik Elbern (RIU Köln) und weiteren wissenschaftlichen, sowie industriellen außer-universitären Fachleuten die Möglichkeiten und Herausforderungen…

Sir Roger Penrose at University Bonn

Are we Seeing Signals from Before the Big Bang? Recent results from WMAP and Planck   University Bonn International Max-Planck Research School  23. November 2013 “Sir Roger Penrose, Professor of Mathematics at the University of Oxford is a globally recognized mathematical physicist with outstanding contributions to mathematics, physics and neuroscience. Among his most recognizable contributions…

Resonant Microsensors

Invited paper for “Sensors and Materials”   Special Issue : Resonant Microsensors   Paper Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors Authors: Thomas Fabula and Stephanus Büttgenbach Year of publication: 1997 Volume: 9 Number: 8 Pagination: 501-519   Keywords beam-on-diaphragm, pressure sensor, electromechanical coupling factor, finite-element modeling, modal analysis, mode coupling, piezoelectric thin films,…

Publications

Scientific & technical publications in journals T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153 Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II Th. Fabula, B. Schmidt: „Modellierung mikromechanischer Sensoren mit…

Erfindungsmeldung MailFon

Erfindungsmeldung   Erfindung im Rahmen der Mitarbeit beim Konzern-Service-Center Forschung & Entwicklung (KSC F&E) der Deutschen Telekom AG in Bonn: Erfindung: “MailFon“, eingereicht am 03.07.1997 Gegenstand: “Unified Messaging Services für integrierte E-Mail-Dienste auf Basis des TK-Festnetzes (Netzinfrastruktur) unter Einbeziehung von Text-to-Speech (TTS) und anderer Message-Konverter (OCR, SMS, FAX)” Erfinder: Dr. Thomas Fabula, Dr. Reimund Dorn,…

Monolithic BOD-structure

Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications     Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195 Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining and anisotropic…

PhD-Thesis

Dissertation in Physik   ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen – Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation   Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der…

COMETT-Course Resonant Microsensors

UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project   Objectives Resonant structures are one of the mostly used techniques in sensor applications. High accuracy and cost effective signal processing are the key features of resonant sensors. By the end of the course, the participants will have a greater understanding of…