FE-Modellierung resonanter Sensoren

Finite-Elemente-Modellierung frequenz-analoger Sensoren   HSG-IMIT Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. Villingen-Schwenningen   2.1 Einleitung 2.1.1 Funktionsprinzip resonanter Sensoren Das Prinzip eines resonanten Sensors beruht auf der Abhängigkeit der Eigenfrequenz des Resonators von einer äußeren physikalischen Größe (z.B. Druck, Kraft, Temperatur), indem der Spannungszustand beeinflußt oder die Trägheit des Resonators…

FE modeling of resonant sensors

Finite element modeling of frequency-analog sensors   HSG-IMIT Institute for Micro- and Information Technology of the Hahn-Schickard-Gesellschaft for Applied Research e.V. Villingen-Schwenningen     2.1 Introduction 2.1.1 Functional principle of resonant sensors The principle of a resonant sensor is based on the dependence of the natural frequency of the resonator on an external physical variable…

30y anniversary of MEMS semiconductors

Piezoelectric Silicon Sensors & Actuators     HighTech experience that counts This project list contains a selection of projects that demonstrate our profound, long-term experience in product development and management of more complex technology projects in high-tech industries, namely in the areas of: Sensors & Actuators, MEMS & Semiconductor Manufacturing, including the semiconductor industry, as…

50 years Unix

How I used Unix to get things done “UNIX is basically a simple operating system, but you have to be a genius to understand the simplicity.” ~ Dennis Ritchie   Back in the days Dennis Ritchie – created the C programming language and, with long-time colleague Ken Thompson, the Unix operating system. Ken Thompson – an American pioneer of computer…

ANSYS Conference & CADFEM Users’ Meeting

Fachkonferenz zur Numerischen Simulation in der Produktentwicklung fand vom 19. bis 21. Oktober 2011 im ICS Internationalen Congress Center Stuttgart statt. Seminar Neben der umfangreichen Konferenz, mit den aktuellen Themen zu CAE, FEM, CFD und PLM, rundete ein Besuch des Kompaktseminars: “Robust Design Optimierung von Multiphysik Anwendungen” die ANSYS Conference und das 29. CADFEM Users´…

CAE-Forum Systemsimulation

CAE-Forum   Das 7. CAE-Forum am Lehrstuhl für Konstruktionstechnik in Erlangen befasste sich mit dem Thema: „Von der Co-Simulation zur Systemsimulation“ Einsatzmöglichkeiten und Anwendungsfelder Scope Immer weniger Produkte basieren auf rein mechanischen Funktionsweisen, sondern werden durch elektrische, regelungstechnische und elektronische Komponenten ergänzt. Zwar ist die Simulation und Absicherung der Produktfunktionen innerhalb der einzelnen Domänen Mechanik,…

Resonant Microsensors

Invited paper Sensors and Materials   Special Issue : Resonant Microsensors Paper Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors Authors: Thomas Fabula and Stephanus Büttgenbach Year of publication: 1997 Volume: 9 Number: 8 Pagination: 501-519   Keywords beam-on-diaphragm, pressure sensor, electromechanical coupling factor, finite-element modeling, modal analysis, mode coupling, piezoelectric thin films, resonant force…

Publications

Papers & Presentations   Scientific & technical publications T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153 Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II Th. Fabula, B. Schmidt: „Modellierung mikromechanischer Sensoren…

FEM-Simulation in Feinwerk- und Mikrotechnik

Fachtagung Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik FH München   Optimierung resonanter mikromechanischer Sensoren für mechanische Größen     Abstract Der Vortrag geht auf die numerische und experimentelle Untersuchung des statischen und dynamischen Verhaltens resonanter Mikrosensoren ein. Den Schwerpunkt bildet die Simulation frequenzanaloger Druck- und Kraftsensoren auf der Basis resonanter, mikromechanischer Silizium-Bimorphstrukturen, sowie…