E-world 2024

E-world2024 Energy & Water Industry   Europe´s Leading trade fair for the energy industry “E-world energy & water is the meeting place for the European energy industry. Exhibitors from all over the world present sustainable technologies and intelligent services for the future of energy. Around one fifth of the exhibiting companies are headquartered abroad. The…

30y anniversary of MEMS semiconductors

Piezoelectric Silicon Sensors & Actuators     HighTech experience that counts This project list contains a selection of projects that demonstrate our profound, long-term experience in product development and management of more complex technology projects in high-tech industries, namely in the areas of: Sensors & Actuators, MEMS & Semiconductor Manufacturing, including the semiconductor industry, as…

PLM Future

4. PLM Future Tagung   Die Tagung stand unter dem Titelthema „Systems Lifecycle Management – Modellbasiertes Systems Engineering für eine innovative Systementwicklung“. Die Tagung fand am 19. November 2012 im Technoseum Mannheim statt. Veranstalter war der Lehrstuhl für Virtuelle Produktentwicklung (VPE) der Technischen Universität Kaiserslautern unter der Leitung von Prof. Dr.-Ing. Martin Eigner. Das Tagungsprogramm…

Resonant Microsensors

Invited paper for “Sensors and Materials”   Special Issue : Resonant Microsensors   Paper Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors Authors: Thomas Fabula and Stephanus Büttgenbach Year of publication: 1997 Volume: 9 Number: 8 Pagination: 501-519   Keywords beam-on-diaphragm, pressure sensor, electromechanical coupling factor, finite-element modeling, modal analysis, mode coupling, piezoelectric thin films,…

Publications

Scientific & technical publications in journals T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153 Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II Th. Fabula, B. Schmidt: „Modellierung mikromechanischer Sensoren mit…

Konstruktion Elektromechanik

FEM-Projekt Konstruktion – Elektromechanik Hella KG Hueck & Co. Lippstadt     “Ihre Anforderungen bezüglich der FEM-Berech­nungen waren nicht ´state-of-the-art´ und somit eine Herausforderung für unser Unternehmen. Um so mehr freue ich mich, daß wir das Berechnungsprojekt so erfolgreich durchgeführt haben und gemeinsam neue Erkenntnisse ableiten konnten.” ~ Dr. Thomas Fabula   Projektbezogene Zusammenarbeit Erstellung eines…

Automotive MEMS-Designoptimierung

Fachvortrag : Haus der Technik im Rahmen der Tagung “Mikrotechnik im Automobilbau”   Designoptimierung mikrotechnischer Sensoren mit Finite-Element-Modellierung   Die Entwicklung der Mikroelektronik hat in den letzten drei Jahrzehnten zu einer außerordentlichen Steigerung der Komplexität und der Leistungsfähigkeit integrierter Schaltungen geführt bei gleichzeitiger Reduktion der Strukturgrößen, der Leistungsaufnahme und des Preises. Dadurch wurden große Bereiche…

PhD-Thesis

Dissertation in Physik   ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen – Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation   Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der…

UETP-MEMS Course – Resonant microsensors

MEMS and resonant sensors   UETP-MEMS Course: Resonant microsensors Thomas Fabula, Hans-Joachim Wagner, Institute of Microstructure and Information Technology (IMIT), Villingen-Schwenningen, Germany Albert Prak, MESA Research Institute, University of Twente, Enschede, the Netherlands Introduction to MEMS and resonant sensors 1.1 Micro-electro-mechanical-systems The capability of microelectronics has been increased about more than thirty years concerning geometrical size,…

COMETT-Course Resonant Microsensors

UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project   Objectives Resonant structures are one of the mostly used techniques in sensor applications. High accuracy and cost effective signal processing are the key features of resonant sensors. By the end of the course, the participants will have a greater understanding of…