Piezoelectric Silicon Sensors & Actuators HighTech experience that counts This project list contains a selection of projects that demonstrate our profound, long-term experience in product development and management of more complex technology projects in high-tech industries, namely in the areas of: Sensors & Actuators, MEMS & Semiconductor Manufacturing, including the semiconductor industry, as…
4. PLM Future Tagung Die Tagung stand unter dem Titelthema „Systems Lifecycle Management – Modellbasiertes Systems Engineering für eine innovative Systementwicklung“. Die Tagung fand am 19. November 2012 im Technoseum Mannheim statt. Veranstalter war der Lehrstuhl für Virtuelle Produktentwicklung (VPE) der Technischen Universität Kaiserslautern unter der Leitung von Prof. Dr.-Ing. Martin Eigner. Das Tagungsprogramm…
Invited paper for “Sensors and Materials” Special Issue : Resonant Microsensors Paper Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors Authors: Thomas Fabula and Stephanus Büttgenbach Year of publication: 1997 Volume: 9 Number: 8 Pagination: 501-519 Keywords beam-on-diaphragm, pressure sensor, electromechanical coupling factor, finite-element modeling, modal analysis, mode coupling, piezoelectric thin films,…
Publications Papers in scientific & technical journals T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153 Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II Th. Fabula, B. Schmidt: „Modellierung mikromechanischer Sensoren…
FEM-Projekt Konstruktion – Elektromechanik Hella KG Hueck & Co. Lippstadt “Ihre Anforderungen bezüglich der FEM-Berechnungen waren nicht ´state-of-the-art´ und somit eine Herausforderung für unser Unternehmen. Um so mehr freue ich mich, daß wir das Berechnungsprojekt so erfolgreich durchgeführt haben und gemeinsam neue Erkenntnisse ableiten konnten.” ~ Dr. Thomas Fabula Projektbezogene Zusammenarbeit Erstellung eines…
Fachvortrag : Haus der Technik im Rahmen der Tagung “Mikrotechnik im Automobilbau” Designoptimierung mikrotechnischer Sensoren mit Finite-Element-Modellierung Die Entwicklung der Mikroelektronik hat in den letzten drei Jahrzehnten zu einer außerordentlichen Steigerung der Komplexität und der Leistungsfähigkeit integrierter Schaltungen geführt bei gleichzeitiger Reduktion der Strukturgrößen, der Leistungsaufnahme und des Preises. Dadurch wurden große Bereiche…
Dissertation in Physik ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen – Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der…
MEMS and resonant sensors UETP-MEMS Course: Resonant microsensors Thomas Fabula, Hans-Joachim Wagner, Institute of Microstructure and Information Technology (IMIT), Villingen-Schwenningen, Germany Albert Prak, MESA Research Institute, University of Twente, Enschede, the Netherlands Introduction to MEMS and resonant sensors 1.1 Micro-electro-mechanical-systems The capability of microelectronics has been increased about more than thirty years concerning geometrical size,…
UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project Objectives Resonant structures are one of the mostly used techniques in sensor applications. High accuracy and cost effective signal processing are the key features of resonant sensors. By the end of the course, the participants will have a greater understanding of…
Article from Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 5, No. 2 (1995) 143-146, pesented at The Fifth European Workshop on Micromechanics (MME ’94), 5-6 September 1994, Pisa, Italy: Piezoelectrical driven resonant force sensor: fabrication and crosstalk by K. Funk, T. Fabula*, G. Flik, F. Lärmer Robert Bosch GmbH, Postfach 10 60 50, D-70049 Stuttgart, Germany *HSG-IMIT, Wilhelm-Schickard-Str.…