Finite Element Analysis program vendors August 1994 Commercially available finite element codes for numerical analyses program company distributor / location ABAQUS ADINA ANSYS COSMOS/M I-DEAS MARC NASTRAN PERMAS Pro-Engineer PATRAN SYSTUS TPS10 HKS Adina R&D SASI SRAC SDRC MARC MSC INTES PTC PDA Framasys TSE Abacom GmbH / Aachen, FRG Watertown (MA) / USA…
Modal Analysis performed with ANSYS Modal Analysis of a Resonant diaphragm pressure sensor based on a silcon MEMS microstructure. PERFORM A MODAL ANALYSIS THIS WILL BE A NEW ANALYSIS USE HOUSEHOLDER METHOD EXTRACT 5 MODES PRINT 0 REDUCED MODES NORMALIZE THE MODE SHAPES TO THE MASS MATRIX NUMBER OF MODES TO EXPAND= 5 DO…
11. CADFEM Users’ Meeting 27.-29. Oktober 1993 Bamberg Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors Thomas Fabula, Nicolaus Hey, Stephan Messner Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. D-78052 Villingen-Schwenningen Wilhelm-Schickard-Straße 10 Abstract Im Rahmen eines vom BMFT geförderten Verbundprojektes wurden resonante mikromechanische Silizium-Balkenstrukturen mit elektrothermischer Anregung und resistiver Abtastung…
Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metall-Dünnfilm-Technologie H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss* * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…
Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss* * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…
Microtechnology Research Institute Wissenschaftlicher Mitarbeiter Herr Dipl.-Phys. Thomas Fabula, ist seit dem 01.10.1988 als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. tätig. Herr Fabula war zunächst mit der Planung des Institutsaufbaus sowie der Konzeption und Realisierung der kompletten EDV-Infrastruktur befaßt und hat maßgeblich zum Aufbau des mikromechanischen…
Abschlusspräsentation MotoMeter Resonante Quarz-Drucksensoren Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” Dr.-Ing. Stefan Dagenbach, Werner Hartig, MotoMeter GmbH, Leonberg Zusammenfassung Die vorteilhaften Eigenschaften von Quarz wie hervorragende Elastizität, sehr gute Langzeitstabilität, chemische Resistenz und vor allem sein piezoelektrisches Verhalten ermöglichen im Batch-Prozeß die kostengünstige Herstellung von Sensoren. Die Anzahl der notwendigen Prozeßschritte…
FASENS Abschlussbericht Bizerba Werke Anwendungen frequenz-analoger Kraft-Sensoren in der Wägetechnik Kurzfassung des Vortrags anlässlich der Abschlusspräsentation des Projektes “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” im Rahmen des BMFT-Förderschwerpunkts Mikrosystemtechnik. Dr.-Ing. Klaus Peter Selig, Dipl.-Phys. Dieter Fischle, Bizerba Werke Balingen, 1993 Zusammenfassung Die heute bekannten Methoden der Mikromechanik gestatten die Herstellung von…
FASENS Abschlusspräsentation GMS GmbH Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” Dr. Herbert Bartuch, GMS – Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Industriestraße 7, St. Georgen Zusammenfassung Es wurden Silizium-Balken (Dicke: ca. 50 μm, Breite: 1 mm) unterschiedlicher Länge (3 – 10 mm)…
FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Villingen-Schwenningen 31. März 1993 Final report Application of micromechanics for the manufacturing of frequency-analogous sensors (FASENS) Abstract “The most important types of micromechanical resonance sensors are bulk acoustic wave sensors, surface acoustic wave sensors and flexural plate wave sensors. In this report technologies for the…