30y anniversary of MEMS semiconductors

Piezoelectric Silicon Sensors & Actuators     HighTech experience that counts This project list contains a selection of projects that demonstrate our profound, long-term experience in product development and management of more complex technology projects in high-tech industries, namely in the areas of: Sensors & Actuators, MEMS & Semiconductor Manufacturing, including the semiconductor industry, as…

FEM-Simulation in Feinwerk- und Mikrotechnik

Fachtagung: Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik FH München   Optimierung resonanter mikromechanischer Sensoren für mechanische Größen     Abstract Der Vortrag geht auf die numerische und experimentelle Untersuchung des statischen und dynamischen Verhaltens resonanter Mikrosensoren ein. Den Schwerpunkt bildet die Simulation frequenzanaloger Druck- und Kraftsensoren auf der Basis resonanter, mikromechanischer Silizium-Bimorphstrukturen, sowie…

Monolithic BOD-structure

Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications     Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195 Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining and anisotropic…

MEMS Literature

Bibliography   MEMS MEMS bibliography of the doctoral thesis as of December 1994.   [ABV 93] Abschlussbericht zum BMFT-Verbundprojekt: Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren, VDI-VDE IT GmbH, Berlin (1993) [Adler 89] E.L. Adler, Electromechanical coupling to Lamb and shear-horizontal modes in piezoelectric plates, IEEE Trans. on UFFC, Vol. 36, No. 2 (1989) 223-230…

PhD-Thesis

Dissertation in Physik   ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen – Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation   Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der…

MEMS Patent

Monolithically integrated semiconductor element, use thereof and method for producing such a semiconductor element   Invention DE4332653 (C1) Monolithisch integriertes Halbleiterelement, dessen Verwendung sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterelements Germany DE4332653, September 1994 Inventors Erfinder ALAVI, Mani – Dipl.-Ing. Dr.rer.nat. [DE]; FABULA, Thomas – Dipl.-Phys. [DE]; SCHUMACHER, Axel – Dipl.-Phys. [DE]; WAGNER, Hans-Joachim – Dipl.-Phys. [DE]     Abstract…

Innovative sensor design

Triple-Beam Resonant Silicon Force Sensor Based on Piezoelectric Thin Films   Authors Th. Fabula, H.-J. Wagner, B. Schmidt Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Wilhelm-Schickard-Strasse 10, D-78052 Villingen-Schwenningen, Germany S. Büttgenbach Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig, Germany   Journal Sensors and Actuators A:…

Multiphysics-Simulation Strömungssensor

11. CADFEM Users’ Meeting 27.-29. Oktober 1993 Bamberg   Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors   Thomas Fabula, Nicolaus Hey, Stephan Messner   Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. D-78052 Villingen-Schwenningen Wilhelm-Schickard-Straße 10 Abstract Im Rahmen eines vom BMFT geförderten Verbundprojektes wurden resonante mikromechanische Silizium-Balken­­­struk­turen mit elektro­ther­mischer Anregung und resistiver Abtastung…

Experimentelle Verifikation

Verifikation durch experimentelle Messtechniken   Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen Schwingungsmessung in der Mikrosystemtechnik In dem BMFT-Verbundprojekt Frequenzanaloge Sensoren wurden vielfältige optische Schwingungsmessungen an mikromechanischen Druck-, Kraft- und Strömungssensoren durchgeführt. Diese Sensoren bestehen in der Regel aus schwingungsfähigen Balken- oder Membranstrukturen, die elektrothermisch oder mit Hilfe von piezoelektrischen Dünnschichten (z.B. ZnO, AlN) zum Schwingen angeregt werden. Durch…