Development of Microsensors
Analytische und FEM Modellierung Frequenz-analoger Mikrosensoren Der Artikel gibt einen umfassenden Überblick über die erfolgreiche Entwicklung und erste Prototypisierung von mikromechanischen Silizium-Sensoren mit resonantem Funktionsprinzip. Er behandelt die analytische und Finite-Elemente-Modellierung von resonanten Silizium-Mikrosensoren zur Messung mechanischer Größen, wie Kraft, Druck und Beschleunigung. Weiterhin kann das frequenz-analoge Messprinzip auf andere physikalische Messgrößen ausgedehnt…