FE-Modellierung resonanter Sensoren

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&D, Wissenschaft

Finite-Elemente-Modellierung frequenz-analoger Sensoren   HSG-IMIT Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V.,  Villingen-Schwenningen   2.1 Einleitung 2.1.1 Funktionsprinzip resonanter Sensoren Das Prinzip eines resonanten Sensors beruht auf der Abhängigkeit der Eigenfrequenz des Resonators von einer äußeren physikalischen Größe (z.B. Druck, Kraft, Temperatur), indem der Spannungszustand beeinflußt oder die Trägheit des Resonators…

Laser physics and MEMS applications

Bildung, Deep Technology, Innovation, R&D, Univ, Wissenschaft

Physics and microsystems technology Looking back and ´conecting the dots´, we can state that the high-tech research fields such as laser physics and the highly integrated microsystems technology (MEMS), combined with the scientific mindset of the physicist, ensure successful work in the Deep Tech segment to develop sophisticated innovative solutions together with our clients.  …

30y anniversary of MEMS semiconductors

CAE, Deep Technology, Industrie, R&D, Wissenschaft

Piezoelectric Silicon Sensors & Actuators     HighTech experience that counts This project list contains a selection of projects that demonstrate our profound, long-term experience in product development and management of more complex technology projects in high-tech industries, namely in the areas of: Sensors & Actuators, MEMS & Semiconductor Manufacturing, including the semiconductor industry, as…

FEM-Simulation in Feinwerk- und Mikrotechnik

CAE, Engineering, PLM, R&D

Fachtagung: Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik FH München   Optimierung resonanter mikromechanischer Sensoren für mechanische Größen     Abstract Der Vortrag geht auf die numerische und experimentelle Untersuchung des statischen und dynamischen Verhaltens resonanter Mikrosensoren ein. Den Schwerpunkt bildet die Simulation frequenzanaloger Druck- und Kraftsensoren auf der Basis resonanter, mikromechanischer Silizium-Bimorphstrukturen, sowie…

Silicon BOD-structures

Deep Technology, Innovation, R&D, Wissenschaft

Monolithic bridge-on-diaphragm microstructures   Abstract Monolithic bridge-on-diaphragm (BOD) microstructures for sensor applications were fabricated by means of laser machining and anisotropic etching techniques. The pressure-frequency-characteristic was measured by acoustical excitation of the microbridge to resonant vibrations and optical detection of the resonance frequency. In the pressure range between 0.8 bar and +1.0 bar the pressure-frequency-characteristic is…

Monolithic BOD-structure

Deep Technology, Innovation, R&D, Wissenschaft

Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications     Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195 Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining and anisotropic…

Betreute Akademische Arbeiten

Bildung, Industrie, Innovation, MINT, R&D, Univ, Wissenschaft

Forschungsarbeiten   Dynamische FEM Simulationen Diplomand: Andreas Schroth Titel: Modellierung mikromechanischer Membranen Diplomarbeit TU Chemnitz, Fachbereich Elektrotechnik / HSG-IMIT Ort: VS-Villingen Jahr: 1992 Simulation mikromechanischer Membranen Optischer Messplatz für MEMS-Strukturen Diplomand: Michael Müller Titel: Aufbau und Inbetriebnahme eines optischen Meßplatzes zur Charakterisierung von resonanten mikromechanischen Strukturen Diplomarbeit: FH Furtwangen, Fachbereich Feinwerktechnik / HSG-IMIT Ort: VS-Villingen…

MEMS Literature

Bildung, Deep Technology, Engineering, Innovation, R&D, Wissenschaft

Bibliography   MEMS MEMS bibliography of the doctoral thesis as of December 1994.   [ABV 93] Abschlussbericht zum BMFT-Verbundprojekt: Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren, VDI-VDE IT GmbH, Berlin (1993) [Adler 89] E.L. Adler, Electromechanical coupling to Lamb and shear-horizontal modes in piezoelectric plates, IEEE Trans. on UFFC, Vol. 36, No. 2 (1989) 223-230…

Dissertation Meßplatz

Deep Technology, R&D, Wissenschaft

Promotion Anhang Experimenteller Aufbau Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurden experimentelle Meßaufbauten zur meßtechnischen Charakterisierung des statischen und dynamischen Verhaltens mikromechanischer Strukturen konzipiert und aufgebaut. Um den Entwicklungsprozeß mikromechanisch gefertigter Mikroresonatoren im Rahmen des BMFT-Verbundprojektes auch meßtechnisch unterstützen zu können, mußten insbesondere neben den passiven Eigenschaften (Resonanzfrequenz, Amplituden, Schwingungsgüten) der Mikroresonatoren aus Silizium, die Sensoreffekte…