Published in “Mikroelektronik Band 6 – Fachbeilage Mikroperipherik”. Main topic: “Modeling of components of microsystem technology” Issue: January / February 1992, Issue 1, p. II Author: Dipl.-Phys. Thomas Fabula (complete article version) Finite Element Modeling in Micromechanics Preamble In the scope of the modeling of micromechanical components, the finite element method plays an…
FEM-Berechnungen zur Auslegung von Druckwandlern mit Metall-DMS-Folien Entwurfsvorgaben Analytische, nicht-lineare Auslegung der Druckwandler Modellierung und FEM-Berechnung der verschiedenen Druckwandler Variation von Geometrieparametern und Optimierung des FE-Modells Simulation und Optimierung von Druckwandlern für verschiedene Nenndruckbereiche Berücksichtigung des DMS-Layouts: Berechnung der zu erwartenden Widerstandsänderung ΔR/R Randbedingungen bei der Auslegung der Druckwandler Eine maximale Empfindlichkeit ε…
Finite-Elemente-Methode Die Finite-Elemente-Methode (FEM) hat sich in den Ingenieurswissenschaften wegen ihrer universellen Anwendbarkeit auf beliebig geformte Strukturen insbesondere auf dem Gebiet der Elastomechanik gegenüber anderen numerischen Berechnungsverfahren, z.B. der Finite-Differenzen-Methode (FDM) durchgesetzt. Aufgrund der allgemeinen mathematischen Formulierung der FE-Methode auf der Grundlage von Variationsprinzipien lässt sie sich auch zur Lösung von verschiedenen physikalischen Feldproblemen…
FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Statusbericht Gebrüder STAIGER GmbH, Sankt Georgen Februar 1990 Gesamtziel des Vorhabens ist die Erarbeitung der Technologie zur Herstellung miniaturisierter Sensoren mit frequenz-analogem Ausgangssignal auf der Basis mechanischer Resonatoren aus Quarz und Silizium. Als konkretes Entwicklungsziel des Vorhabens sollen Kraftsensoren auf Silizium-Basis mit ZnO-Dünnschichten, Kraftsensoren für den…
FEM-Programmpaket ANSYS Meeting mit Priv.-Doz. Dr.rer.nat. Büttgenbach FFMU – Forschungsgesellschaft für Feingeräte-, Uhren- und Mikrotechnik e.V. Villingen-Schwenningen Allgemeines zu FEM-Programmen FEM-Anwendungen in der Mikrotechnik Leistungskriterien für FEM-Programme Spezielle Anforderungen der Mikromechanik Überblick FEM-Programme Das Programmpaket A N S Y S Allgemeines Berechnungsmöglichkeiten Allgemein gekoppelte Feldberechnungen Modellierung von Piezoelektrizität Elemente-Bibliothek von ANSYS Prinzipieller ANSYS-Rechenlauf…
Transformation Manual Engineering to CAD Services For more than three years, we have been supporting LEON GmbH in Klagenfurt (Austria) in the systematic changeover to CAD-supported design and planning work for large-scale plants in the paper and pulp industry as well as in the general chemical sector. Consulting & implementation services Our work included…