IIoT zwischen Connectivity & Security

Am FIR, der branchenübergreifenden Forschungseinrichtung an der RWTH-Aachen, fand der Executive Roundtable zum Thema: “Industrie 4.0 : Connected Devices ohne Ende?” statt. Veranstalter war die Deutsche Medienakademie in Köln unter der Moderation ihres Geschäftsführers Ekkehart Gerlach. “Ein wesentlicher Punkt des Einsatzes der Connectivity in der ‘Industrie 4.0‘ ist die Frage, ob alles, was vernetzt werden…

Resonant Microsensors

Invited paper for “Sensors and Materials”   Special Issue : Resonant Microsensors   Paper: Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors Authors: Thomas Fabula and Stephanus Büttgenbach Year of publication: 1997 Volume: 9 Number: 8 Pagination: 501-519   Keywords beam-on-diaphragm, pressure sensor, electromechanical coupling factor, finite-element modeling, modal analysis, mode coupling, piezoelectric thin films, resonant…

Konstruktion Elektromechanik

FEM-Projekt Konstruktion – Elektromechanik Hella KG Hueck & Co. Lippstadt     “Ihre Anforderungen bezüglich der FEM-Berech­nungen waren nicht ´state-of-the-art´ und somit eine Herausforderung für unser Unternehmen. Um so mehr freue ich mich, daß wir das Berechnungsprojekt so erfolgreich durchgeführt haben und gemeinsam neue Erkenntnisse ableiten konnten.” ~ Dr. Thomas Fabula   Projektbezogene Zusammenarbeit Erstellung eines…

FEM-Simulation in Feinwerk- und Mikrotechnik

Fachtagung: Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, FH München   Optimierung resonanter mikromechanischer Sensoren für mechanische Größen   Der Vortrag geht auf die numerische und experimentelle Untersuchung des statischen und dynamischen Verhaltens resonanter Mikrosensoren ein. Den Schwerpunkt bildet die Simulation frequenzanaloger Druck- und Kraftsensoren auf der Basis resonanter, mikromechanischer Silizium-Bimorphstrukturen, sowie die Charakterisierung…

Monolithic BOD-structure

Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications     Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt   Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195   Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining…

PhD-Thesis

Dissertation in Physik   ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen – Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation   Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der…

COMETT-Course Resonant Microsensors

UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project   Objectives Resonant structures are one of the mostly used techniques in sensor applications. High Accuracy and cost effective signal processing are the key features of resonant sensors. By the end of the course, the participants will have a greater understanding of…

Piezoelectrical driven Force Sensor

Article from Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 5, No. 2 (1995) 143-146, pesented at The Fifth European Workshop on Micromechanics (MME ’94), 5-6 September 1994, Pisa, Italy: Piezoelectrical driven resonant force sensor: fabrication and crosstalk by K. Funk, T. Fabula, G. Flik, F. Lärmer   Abstract This paper presents a resonant force sensor comprising piezoelectric ZnO thin-film transducers for…

MEMS Patent

Monolithically integrated semiconductor element, use thereof and method for producing such a semiconductor element DE4332653 (C1) Monolithisch integriertes Halbleiterelement, dessen Verwendung sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterelements Germany DE4332653, September 1994   Inventors ALAVI, Mani Dipl.-Ing. Dr.rer.nat. [DE]; FABULA, Thomas Dipl.-Phys. [DE]; SCHUMACHER, Axel Dipl.-Phys. [DE]; WAGNER, Hans-Joachim Dipl.-Phys. [DE]   Abstract The monolithically integrated semiconductor element has…

Innovative sensor design

Triple-Beam Resonant Silicon Force Sensor Based on Piezoelectric Thin Films   Authors Th. Fabula, H.-J. Wagner, B. Schmidt Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Wilhelm-Schickard-Strasse 10, D-78052 Villingen-Schwenningen Germany S. Büttgenbach Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig Germany   Journal Sensors and Actuators A:…