Erschienen in “Mikroelektronik Band 6 – Fachbeilage Mikroperipherik” Schwerpunktthema: “Modellierung von Komponenten der Mikrosystemtechnik” Ausgabe: Januar / Februar 1992, Heft 1, S. II Autor: Dipl.-Phys. Thomas Fabula (vollständige Artikelfassung) “Finite-Elemente Modellierung in der Mikromechanik” Präambel Im Rahmen der Modellierung von mikromechanischen Komponenten nimmt die Methode der Finiten Elemente eine wichtige Rolle bei der…
Einsatz der Finite-Elemente Methode zur Simulation mikromechanischer Komponenten Dipl.-Phys. Thomas Fabula Atomphysikalisches Kolloquium Institut für Angewandte Physik Universität Bonn 7. Januar 1992 Mikromechanik “… befaßt sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung dreidimensionaler mechanischer Strukturen und Systeme, deren Abmessungen in mindestens einer Dimension so klein sind, daß feinmechanische Formgebungsverfahren nicht mehr sinnvoll…
Fachausschuß Mikrosystemtechnik in der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik und Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V.: Vortragsveranstaltung Mikrosystemtechnik 16. Januar 1991 Max-Planck-Institut für Festkörperforschung Stuttgart-Büsnau “Modellierung mikromechanischer Sensoren mit der Methode der Finiten Elemente” Th. Fabula, B. Schmidt Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik Villingen-Schwenningen Abstract Im Hahn-Schickard-Institut wird das kommerzielle FEM-Programmsystem ANSYS für den Entwurf und die Auslegung von mikromechanischen Sensoren…
Finite-Elemente-Methode Die Finite-Elemente-Methode (FEM) hat sich in den Ingenieurswissenschaften wegen ihrer universellen Anwendbarkeit auf beliebig geformte Strukturen insbesondere auf dem Gebiet der Elastomechanik gegenüber anderen numerischen Berechnungsverfahren, z.B. der Finite-Differenzen-Methode (FDM) durchgesetzt. Aufgrund der allgemeinen mathematischen Formulierung der FE-Methode auf der Grundlage von Variationsprinzipien lässt sie sich auch zur Lösung von verschiedenen physikalischen Feldproblemen…
FEM-Simulationsrechnungen an Mikrostrukturen Posterdarstellung Micro System Technologies 90 1st International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components ICC Berlin 10.-13. September 1990 Abstract “On September 10-13, 1990, the first international meeting on Microsystem Technologies takes place at the Berlin International Congress Center. Most of the traditional congresses deal with themes that…
ANSYS Research-Associate-Vertrag Allgemeines Berichtszeitraum: 1. Halbjahr 1990 Lizenznehmer: Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik Programmversion: ANSYS 4.4 Rechnerplattform: Digital DECstation 3100 IT-Umfeld Das FEM-Programmsystem ANSYS wird neben einer Universitätslizenz auf PC386-Rechnerbasis als Workstation-Version zur Berechnung komplexer FE-Modelle eingesetzt. Die etwa 6-10 fache Geschwindigkeitssteigerung und der erhöhte Wavefront-Umfang (z.Zt. 4000 bei 130 MB ULTRIX-Swapspace und 16 MB Arbeitsspeicher)…
FASENS Dynamische FEM-Rechnungen resonanter Quarz-Kraftsensoren BMFT-Projekt Statusbesprechung Robert Bosch GmbH Gerlingen-Schillerhöhe Zentrale Forschung ZWD 17. Januar 1990 Gesamtziel des Vorhabens ist die Erarbeitung der Technologie zur Herstellung miniaturisierter Sensoren mit frequenz-analogem Ausgangssignal auf der Basis mechanischer Resonatoren aus Quarz und Silizium. Als konkretes Entwicklungsziel des Vorhabens sollen Kraftsensoren auf Silizium-Basis mit ZnO-Dünnschichten, Kraftsensoren…
Physik in der Mikroelektronik DPG-Schule für Physik 25.-29. September 1989 Physikzentrum Bad Honnef Kurs IV “Der Kurs IV der DPG-Schule für Physik fand vom 24. bis zum 28.09.1989 im Physikzentrum Bad Honnef statt und hatte die ,Physik in der Mikroelektronik´ zum Gegenstand. Ziel der Veranstaltung war es, das breite Spektrum zwischen Grundlagenforschung und…
IPADS I – IAP P – Physik A – Abstracts D – Dokumentations S – System IAP – Institut für Angewandte Physik der Universität Bonn, 1988 Motivation “Die Überlegungen, die zu dieser Literatur-Datenbank geführt haben …” Um effizient mit wissenschaftlichen Publikationen arbeiten zu können, ist es u.a. notwendig, sie überschaubar und nach bestimmten Gebieten einzusortieren.…