Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Villingen-Schwenningen 31. März 1993 Final report Application of micromechanics for the manufacturing of frequency-analogous sensors Abstract “The most important types of micromechanical resonance sensors are bulk acoustic wave sensors, surface acoustic wave sensors and flexural plate wave sensors. In this report technologies for the preparation of…
UETP-MEMS Course Proceedings FSRM Neuchatel, Switzerland University Enterprise Training Partnership MEMS project with the support of the European Programme COMETT Objectives UETP-MEMS course Modeling and numerical simulation of both the fabrication process and the operation of single devices and entire integrated systems are more and more necessary. Computer aided design (CAD) can reduce the…
Fibronix Sensoren GmbH Kiel Optimierung des PVDF-Topfdurchmessers Abgleich der Materialdaten von Silikon unter Berücksichtigung des hyperelastischen Materialverhaltens durch entsprechenden Finite-Elemente Ansatz Ermittlung der günstigsten Modellvernetzung unter Verwendung piezoelektrischer und strukturmechanischer Elemente Validierung der erstellten FE-Modelle (2D bzw. 3D), sowie der ersten piezoelektrischen Testrechungen und Vergleich mit optischen Laservibrometer-Messungen (Amplitudenverteilung) und elektrischen Messungen (Impedanz- &…
Fortbildungsseminar des Dienstleistungszentrums Mikromechanik Das Seminar gibt einen Überblick der vielfältigen Anwendungen der Finite-Elemente-Methode (FEM) in der Mikrotechnik. Anhand anwendungsorientierter Beispiele werden typische Problemstellungen aus dem Bereich der Sensorik und Aktorik behandelt. Zielstellung Ziel ist es, die Stärken dieser Simulationsmethode aufzuzeigen und ein Gefühl für den notwendigen Aufwand, die wichtigsten beeinflussenden Parameter und…
Dokumentation Mikrotechnik Ausgabe Nr. 9 – November 1992 Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. (HSG) Wilhelm-Schickard-Straße 10, Villingen-Schwenningen Entwurf – Simulation – Resonatoren Entwurf Bei der Realisierung von mikromechanischen Komponenten und Systemen, sind neben der für die Bauelementfunktion technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien auch die prozeß-technischen Randbedingungen wie z.B. Fertigungstoleranzen und…
Dynamische Berechnungen in der Mikromechanik Simulation / Messung Dipl.-Phys. Thomas Fabula Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik, VS-Villingen Abstract Bei der Realisierung von mikromechanischen Systemen sind für die Bauelementfunktion die technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien und die prozeß-technischen Randbedingungen bereits in der Entwurfsphase zu berücksichtigen. Reale mikromechanische Komponenten zeigen aufgrund der Miniaturisierung und des hohen…
Invited contribution at the 1st Industry-University-Workshop on Numerical Modelling and Simulation of Sensors Workshop-Programm Kapazitive Sensoren, Dipl.-Ing. J.G. Korvink Thermoelektrische Effekte in Halbleiter-Devices, Dipl.-Ing. K. Kells Magnetischer Flusskonzentrator für Hall Sensoren, Dipl.-Ing. H. Lechner Vertical Hall Sensoren, Dr. M. Roos Simulation von Magnetfeld-Sensoren, Dr. J.F. Buergler Teilnehmerthema: Hahn-Schickard-Institut, VS-Villingen, Deutschland: Entwurf und Auslegung…
Published in “Mikroelektronik Band 6 – Fachbeilage Mikroperipherik”. Main topic: “Modeling of components of microsystem technology” Issue: January / February 1992, Issue 1, p. II Author: Dipl.-Phys. Thomas Fabula (complete article version) Finite Element Modeling in Micromechanics Preamble In the scope of the modeling of micromechanical components, the finite element method plays an…
Erschienen in “Mikroelektronik Band 6 – Fachbeilage Mikroperipherik” Schwerpunktthema: “Modellierung von Komponenten der Mikrosystemtechnik” Ausgabe: Januar / Februar 1992, Heft 1, S. II Autor: Dipl.-Phys. Thomas Fabula (vollständige Artikelfassung) “Finite-Elemente Modellierung in der Mikromechanik” Präambel Im Rahmen der Modellierung von mikromechanischen Komponenten nimmt die Methode der Finiten Elemente eine wichtige Rolle bei der…
Einsatz der Finite-Elemente Methode zur Simulation mikromechanischer Komponenten Dipl.-Phys. Thomas Fabula Atomphysikalisches Kolloquium Institut für Angewandte Physik Universität Bonn 7. Januar 1992 Mikromechanik “… befaßt sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung dreidimensionaler mechanischer Strukturen und Systeme, deren Abmessungen in mindestens einer Dimension so klein sind, daß feinmechanische Formgebungsverfahren nicht mehr sinnvoll…