Atomphysikalisches Kolloquium
Einsatz der Finite-Elemente Methode zur Simulation mikromechanischer Komponenten Dipl.-Phys. Thomas Fabula Atomphysikalisches Kolloquium Institut für Angewandte Physik Universität Bonn 7. Januar 1992 Mikromechanik “… befaßt sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung dreidimensionaler mechanischer Strukturen und Systeme, deren Abmessungen in mindestens einer Dimension so klein sind, daß feinmechanische Formgebungsverfahren nicht mehr sinnvoll…