BOSCH – Frequenzanaloge Sensoren

Deep Technology, Innovation, R&D, Wissenschaft

Abschlussbericht Robert Bosch GmbH   Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Im Rahmen des BMFT-Verbundprojekts: “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” wurden bei BOSCH die Grundlagen frequenzanaloger Druck- und Kraft-Sensoren in Silicium mit Fremdanregung durch piezo-elektrisches Zinkoxid erarbeitet. Die Integration des piezoelektrischen Materials in mikroskopisches  Verfahrensabläufe wurde erreicht und geeignete Batch-Prozesse entwickelt, die in der Folge…

Verbundforschung Mikrosystemtechnik

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&D, VDI, Wissenschaft

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren   Villingen-Schwenningen 31. März 1993   Final report Application of micromechanics for the manufacturing of frequency-analogous sensors Abstract “The most important types of micromechanical resonance sensors are bulk acoustic wave sensors, surface acoustic wave sensors and flexural plate wave sensors. In this report technologies for the preparation of…

Piezoelectric Micro-Actuators

Deep Technology, Engineering, Innovation, R&D

Antrieb von Aktoren durch piezoelektrische Dünnschichten Dipl.-Phys. Th. Fabula Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. Februar 1993   Piezoelektrische Dünnschicht-Materialien Für die Abschätzung der Leistungsfähigkeit des piezoelektrischen Antriebs werden die Materialien Aluminiumnitrid (AlN), Zinkoxid (ZnO) und PZT-Keramiken (PZT) zugrunde gelegt, die auch als Dünnschichten hergestellt werden können. Da die Materialdaten stark von der Art des Herstellungsprozesses…

Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen

R&D, Univ, Wissenschaft

Invited contribution at the 1st Industry-University-Workshop on   Numerical Modelling and Simulation of Sensors   Workshop-Programm Kapazitive Sensoren, Dipl.-Ing. J.G. Korvink Thermoelektrische Effekte in Halbleiter-Devices, Dipl.-Ing. K. Kells Magnetischer Flusskonzentrator für Hall Sensoren, Dipl.-Ing. H. Lechner Vertical Hall Sensoren, Dr. M. Roos Simulation von Magnetfeld-Sensoren, Dr. J.F. Buergler Teilnehmerthema: Hahn-Schickard-Institut, VS-Villingen, Deutschland: Entwurf und Auslegung…

Simulation mikromechanischer Membranen

CAE, Engineering, R&D

Simulation des dynamischen Verhaltens mikromechanischer Membranen Th. Fabula, A. Schroth   Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. Wilhelm-Schickard-Straße 10, Villingen-Schwenningen   Zusammenfassung Mit Hilfe des Finite-Elemente-Programms ANSYS wird eine analytische Beziehung für die Eigenfrequenzänderung quadratischer Siliziummembranen in Abhängigkeit vom beaufschlagten Druck abgeleitet. Dazu werden die Einzelzusammenhänge Membranmitten-Auslenkung – Druck und…

Modellierung Mikrosysteme

Engineering, Innovation, R&D, Wissenschaft

Erschienen in “Mikroelektronik Band 6 – Fachbeilage Mikroperipherik” Schwerpunktthema: “Modellierung von Komponenten der Mikrosystem­technik” Ausgabe: Januar / Februar 1992, Heft 1, S. II Autor: Dipl.-Phys. Thomas Fabula (vollständige Artikelfassung)   “Finite-Elemente Modellierung in der Mikromechanik”   Präambel Im Rahmen der Modellierung von mikromechanischen Komponenten nimmt die Methode der Finiten Elemente eine wichtige Rolle bei der…

Atomphysikalisches Kolloquium

CAE, Engineering, R&D, Software, Univ, Wissenschaft

Einsatz der Finite-Elemente Methode zur Simulation mikromechanischer Komponenten   Dipl.-Phys. Thomas Fabula   Atomphysikalisches Kolloquium Institut für Angewandte Physik Universität Bonn   7. Januar 1992   Mikromechanik “… befaßt sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung dreidimensionaler mechanischer Stru­k­turen und Systeme, deren Abmessungen in min­destens einer Dimen­sion so klein sind, daß feinmechanische Formgebungsverfahren nicht mehr sinnvoll…

Mikrosystemtechnik

CAE, R&D, Wissenschaft

Fachausschuß Mikrosystemtechnik in der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik und Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V.:   Vortragsveranstaltung Mikrosystem­technik 16. Januar 1991 Max-Planck-Institut für Festkörperforschung Stuttgart-Büsnau     “Modellierung mikromechanischer Sensoren mit der Methode der Finiten Elemente” Th. Fabula, B. Schmidt   Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik Villingen-Schwenningen Abstract Im Hahn-Schickard-Institut wird das kommerzielle FEM-Programmsystem ANSYS für den Entwurf und die Auslegung von mikromechanischen Sensoren…

Real-time data acquisition system

R&D, Software, Univ, Wissenschaft

Real-time data acquisition system for laser and radio frequency spectroscopy T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula and W. Rupprecht Journal of Physics E: Scientific Instruments, Volume 21, Number 12 Abstract A low-cost real-time data acquisition system utilising a master (PC-XT) and a slave (Z80) computer for high-resolution atomic spectroscopy is described. The master and the slave computer are linked by a…

IPADS Literatur-Verwaltung

Bildung, Open Source, R&D, Software, Univ, Wissenschaft

I – IAP P – Physik A – Abstracts D – Dokumentations S – System IAP – Institut für Angewandte Physik der Universität Bonn, 1988   Motivation “Die Überlegungen, die zu dieser Literatur-Datenbank geführt haben …” Um effizient mit wissenschaftlichen Publikationen arbeiten zu können, ist es u.a. notwendig, sie überschaubar und nach bestimmten Gebieten einzusortieren. Der…