MotoMeter – Frequenzanaloge Quarz-Drucksensoren

Abschlusspräsentation MotoMeter   Resonante Quarz-Drucksensoren Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren”  Dr.-Ing. Stefan Dagenbach, Werner Hartig,  MotoMeter GmbH, Leonberg   Zusammenfassung Die vorteilhaften Eigenschaften von Quarz wie hervorragende Elastizität, sehr gute Langzeitstabilität, chemische Resistenz und vor allem sein piezoelektrisches Verhalten ermöglichen im Batch-Prozeß die kostengünstige Herstellung von Sensoren. Die Anzahl der notwendigen Prozeßschritte…

Si-Kraftsensoren mit piezoelektrischem Antrieb

Mehrfachbalken-Resonatoren   Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Dipl.-Phys. Hans-Joachim Wagner, Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. (HSG-IMIT)   Abschlussbericht Frequenz-analoge Kraftsensoren in Silizium mit quasi-digitalem Frequenzausgang werden vorgestellt. Der Kraft empfindliche Resonator wird durch eine membranartige Dreifachbalkenstruktur (Dicke = 25 µm) realisiert. Die Anregung der Resonanzschwingungen des im antisymmetrischen Grundmode (äußere Balken gegenphasig zum inneren Balken) schwingenden…

BOSCH – Frequenzanaloge Sensoren

Abschlussbericht Robert Bosch GmbH   Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Im Rahmen des BMFT-Verbundprojekts: “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” wurden bei BOSCH die Grundlagen frequenzanaloger Druck- und Kraft-Sensoren in Silicium mit Fremdanregung durch piezo-elektrisches Zinkoxid erarbeitet. Die Integration des piezoelektrischen Materials in mikroskopisches  Verfahrensabläufe wurde erreicht und geeignete Batch-Prozesse entwickelt, die in der Folge…

BIZERBA – Sensoren für Wägetechnik

Abschlussbericht Bizerba Werke   Anwendungen frequenz-analoger Kraft-Sensoren in der Wägetechnik Kurzfassung des Vortrags anlässlich der Abschlusspräsentation des Projektes “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” im Rahmen des BMFT-Förderschwerpunkts Mikrosystemtechnik. Dr.-Ing. Klaus Peter Selig, Dieter Fischle, Bizerba Werke Balingen, 1993     Zusammenfassung Die heute bekannten Methoden der Mikromechanik gestatten die Herstellung von Resonatoren, die…

GMS – Resonante Silizium Sensoren

Abschlusspräsentation GMS GmbH   Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren”  Dr. Herbert Bartuch, GMS – Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Industriestraße 7, St. Georgen   Zusammenfassung Es wurden Silizium-Balken (Dicke: ca. 50 μm, Breite: 1 mm) unterschiedlicher Länge (3 – 10 mm) mittels…