Einsatz der Finite-Elemente Methode zur Simulation mikromechanischer Komponenten Dipl.-Phys. Thomas Fabula Atomphysikalisches Kolloquium Institut für Angewandte Physik Universität Bonn 7. Januar 1992 Mikromechanik “… befaßt sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung dreidimensionaler mechanischer Strukturen und Systeme, deren Abmessungen in mindestens einer Dimension so klein sind, daß feinmechanische Formgebungsverfahren nicht mehr sinnvoll…
FEM-Berechnungen zur Auslegung von Druckwandlern mit Metall-DMS-Folien Entwurfsvorgaben Analytische, nicht-lineare Auslegung der Druckwandler Modellierung und FEM-Berechnung der verschiedenen Druckwandler Variation von Geometrieparametern und Optimierung des FE-Modells Simulation und Optimierung von Druckwandlern für verschiedene Nenndruckbereiche Berücksichtigung des DMS-Layouts: Berechnung der zu erwartenden Widerstandsänderung ΔR/R Randbedingungen bei der Auslegung der Druckwandler Eine maximale Empfindlichkeit ε…
Fachausschuß Mikrosystemtechnik in der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik und Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V.: Vortragsveranstaltung Mikrosystemtechnik 16. Januar 1991 Max-Planck-Institut für Festkörperforschung Stuttgart-Büsnau “Modellierung mikromechanischer Sensoren mit der Methode der Finiten Elemente” Th. Fabula, B. Schmidt Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik Villingen-Schwenningen Abstract Im Hahn-Schickard-Institut wird das kommerzielle FEM-Programmsystem ANSYS für den Entwurf und die Auslegung von mikromechanischen Sensoren…
Finite-Elemente-Methode Die Finite-Elemente-Methode (FEM) hat sich in den Ingenieurswissenschaften wegen ihrer universellen Anwendbarkeit auf beliebig geformte Strukturen insbesondere auf dem Gebiet der Elastomechanik gegenüber anderen numerischen Berechnungsverfahren, z.B. der Finite-Differenzen-Methode (FDM) durchgesetzt. Aufgrund der allgemeinen mathematischen Formulierung der FE-Methode auf der Grundlage von Variationsprinzipien lässt sie sich auch zur Lösung von verschiedenen physikalischen Feldproblemen…
FEM-Simulationsrechnungen an Mikrostrukturen Posterdarstellung Micro System Technologies 90 1st International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components ICC Berlin 10.-13. September 1990 Abstract “On September 10-13, 1990, the first international meeting on Microsystem Technologies takes place at the Berlin International Congress Center. Most of the traditional congresses deal with themes that…
FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren BIZERBA-Werke Wilhelm-Kraut GmbH & Co. KG, Balingen 4. Juli 1990 Dynamische FEM-Rechnungen Modalanalyse Kraft-Frequenz-Kennlinie resonante Anregung Untersuchungen an Doppelstimmgabeln Strukturoptimierung (statisch, dynamisch) parametrisierte DETF (Double-Ended Tuning-Fork) Antwortspektrum infolge harmonischer Anregung Alternative Sensorstrukturen ‘Single-Beam’ Strukturen ‘Multistring’-Anordnungen Resonante Sensoren Ein resonanter Sensor wird charakterisiert durch: mechanische…
ANSYS Research-Associate-Vertrag Allgemeines Berichtszeitraum: 1. Halbjahr 1990 Lizenznehmer: Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik Programmversion: ANSYS 4.4 Rechnerplattform: Digital DECstation 3100 IT-Umfeld Das FEM-Programmsystem ANSYS wird neben einer Universitätslizenz auf PC386-Rechnerbasis als Workstation-Version zur Berechnung komplexer FE-Modelle eingesetzt. Die etwa 6-10 fache Geschwindigkeitssteigerung und der erhöhte Wavefront-Umfang (z.Zt. 4000 bei 130 MB ULTRIX-Swapspace und 16 MB Arbeitsspeicher)…
FASENS Dynamische FEM-Rechnungen resonanter Quarz-Kraftsensoren BMFT-Projekt Statusbesprechung Robert Bosch GmbH Gerlingen-Schillerhöhe Zentrale Forschung ZWD 17. Januar 1990 Gesamtziel des Vorhabens ist die Erarbeitung der Technologie zur Herstellung miniaturisierter Sensoren mit frequenz-analogem Ausgangssignal auf der Basis mechanischer Resonatoren aus Quarz und Silizium. Als konkretes Entwicklungsziel des Vorhabens sollen Kraftsensoren auf Silizium-Basis mit ZnO-Dünnschichten, Kraftsensoren…
FEM-Programmpaket ANSYS Meeting mit Priv.-Doz. Dr.rer.nat. Büttgenbach FFMU – Forschungsgesellschaft für Feingeräte-, Uhren- und Mikrotechnik e.V. Villingen-Schwenningen Summary The ANSYS FEM program is ideally suited for use in FEM applications in microtechnology. We will discuss the performance criteria for FEM programs and the special requirements of micromechanics. An overview of FEM programs will…