FE-Berechnungen an Quarz-Strukturen
FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren BIZERBA-Werke Wilhelm-Kraut GmbH & Co. KG, Balingen 4. Juli 1990 Dynamische FEM-Rechnungen Modalanalyse Kraft-Frequenz-Kennlinie resonante Anregung Untersuchungen an Doppelstimmgabeln Strukturoptimierung (statisch, dynamisch) parametrisierte DETF (Double-Ended Tuning-Fork) Antwortspektrum infolge harmonischer Anregung Alternative Sensorstrukturen ‘Single-Beam’ Strukturen ‘Multistring’-Anordnungen Resonante Sensoren Ein resonanter Sensor wird charakterisiert durch: mechanische…