InterScience Trusted Partnership

Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit der InterScience GmbH und bedanken uns für das in uns gesetzte Vertrauen als Trusted Partner.   “Die InterScience steht für ein Netzwerk von kooperierenden ´Trusted Partnern´. Wir verstehen darunter Experten aus verschiedenen Anwendungsgebieten und Branchen mit Erfahrungen und Fähigkeiten im Management von Unternehmen und der Unternehmensberatung.” ~ InterScience…

Digitale interaktive Didaktik

Launch des Forums : „digitale interaktive Didaktik“ (DID) Die Auftaktveranstaltung fand am Fraunhofer-Institut für graphische Datenverarbeitung statt und über zwanzig Teilnehmer aus Dienstleistungs- und Industriefirmen, sowie Forschungs- und Öffentlichen Einrichtungen waren der Einladung des ZGDV e.V. nach Darmstadt gefolgt. Die Begrüßung und Vorstellung übernahm Stefan Dudzinski-Lange (Vorstand ZGDV), der fachkundig in das Thema einführte: “Im…

Resonant Microsensors

Invited paper for “Sensors and Materials”   Special Issue : Resonant Microsensors   Title: Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors Authors: Thomas Fabula and Stephanus Büttgenbach Year of publication: 1997 Volume: 9 Number: 8 Pagination: 501-519   Keywords beam-on-diaphragm, pressure sensor, electromechanical coupling factor, finite-element modeling, modal analysis, mode coupling, piezoelectric thin films, resonant…

Monolithic BOD-structure

Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications     Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt   Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195   Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining…

PhD-Thesis

Dissertation in Physik   ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen – Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation   Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der…

COMETT-Course Resonant Microsensors

UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project   Objectives Resonant structures are one of the mostly used techniques in sensor applications. High Accuracy and cost effective signal processing are the key features of resonant sensors. By the end of the course, the participants will have a greater understanding of…

Innovative sensor design

Triple-Beam Resonant Silicon Force Sensor Based on Piezoelectric Thin Films   Authors Th. Fabula, H.-J. Wagner, B. Schmidt Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Wilhelm-Schickard-Strasse 10, D-78052 Villingen-Schwenningen Germany S. Büttgenbach Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig Germany   Journal Sensors and Actuators A:…

Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen

Vortrag beim 3. Vibrometer-Seminar der Polytec GmbH in Waldbronn: “Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen” M. Freygang, T. Fabula, Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. in Villingen-Schwenningen.   Das Institut für Mikro- und Informationstechnik Das Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) in Villingen-Schwenningen hat als Zielsetzung durch Informations- und Technologietransfer kleinen und mittelständischen Unternehmen (KMU) mit innovativen…

Dynamical modeling of microsystems

Dynamische Berechnungen in der Mikromechanik – Simulation / Messung   Th. Fabula, Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik, VS-Villingen.   Bei der Realisierung von mikromechanischen Systemen sind für die Bauelementfunktion die technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien und die prozeßtechnischen Randbedingungen bereits in der Entwurfsphase zu berücksichtigen. Reale mikromechanische Komponenten zeigen aufgrund der Miniaturisierung und des hohen Integrationsgrades…

Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen

Invited contribution at Industry-University-Workshop on   Numerical Modelling and Simulation of Sensors   Workshop-Programm Kapazitive Sensoren, Dipl.-Ing. J.G. Korvink Thermoelektrische Effekte in Halbleiter-Devices, Dipl.-Ing. K. Kells Magnetischer Flusskonzentrator für Hall Sensoren, Dr. M. Roos Vertical Hall Sensoren, Dr. J.F. Buergler Teilnehmerthema: Hahn-Schickard-Institut, VS-Villingen, Deutschland: Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen, Dipl.-Phys. Thomas Fabula HW/SW-Infrastruktur für Simulationen…