Laser physics and MEMS applications

Physics and microsystems technology Looking back and ´conecting the dots´, we can state that the high-tech research fields such as laser physics and the highly integrated microsystems technology (MEMS), combined with the scientific mindset of the physicist, ensure successful work in the Deep Tech segment to develop sophisticated innovative solutions together with our clients.  …

30y anniversary of MEMS semiconductors

Piezoelectric Silicon Sensors & Actuators     HighTech experience that counts This project list contains a selection of projects that demonstrate our profound, long-term experience in product development and management of more complex technology projects in high-tech industries, namely in the areas of: Sensors & Actuators, MEMS & Semiconductor Manufacturing, including the semiconductor industry, as…

Causality in Science and Machine Learning

Causality in Science and Machine Learning   Aachen Machine Learning Network, November 28th at RWTH Aachen – Experts shared their experience, how to use new methods to explore causal structures from data. Sound methods for causal analysis are young and widely unknown: Prof. Dr. Jörg Breitung, University Cologne: “Causal Analysis in Empirical Economics – attribution of influencing…

InterScience Trusted Partnership

Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit der InterScience GmbH und bedanken uns für das in uns gesetzte Vertrauen als Trusted Partner InterScience “Die InterScience steht für ein Netzwerk von kooperierenden ´Trusted Partnern´. Wir verstehen darunter Experten aus verschiedenen Anwendungsgebieten und Branchen mit Erfahrungen und Fähigkeiten im Management von Unternehmen und der Unternehmensberatung.” ~ InterScience…

Digitale interaktive Didaktik

Launch des Forums „digitale interaktive Didaktik“ Die Auftaktveranstaltung fand am Fraunhofer-Institut für graphische Datenverarbeitung statt und über zwanzig Teilnehmer aus Dienstleistungs- und Industriefirmen, sowie Forschungs- und Öffentlichen Einrichtungen waren der Einladung des ZGDV e.V. nach Darmstadt gefolgt. Die Begrüßung und Vorstellung übernahm Stefan Dudzinski-Lange (Vorstand ZGDV), der fachkundig in das Thema einführte: “Im Fokus stehen…

Petersberger Forum

  Impulse – Herausforderungen – Chancen   „Krise ist ein produktiver Zustand. Man muss ihm nur den Beigeschmack der Katastrophe nehmen.” ~ Professor Udo Di Fabio   Die Referenten Prof. Dr. Dr. Udo Di Fabio, Professor für Öffentliches Recht und Richter am Bundesverfassungsgericht a. D. Prof. Dr. Nikolai Grube, Professor für Altamerikanistik und Ethnologie Prof. Dr. Claudia Kemfert,…

Resonant Microsensors

Invited paper “Sensors and Materials”   Special Issue : Resonant Microsensors   Paper Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors Authors: Thomas Fabula and Stephanus Büttgenbach Year of publication: 1997 Volume: 9 Number: 8 Pagination: 501-519   Keywords beam-on-diaphragm, pressure sensor, electromechanical coupling factor, finite-element modeling, modal analysis, mode coupling, piezoelectric thin films, resonant…

Publications

Publications Papers in scientific & technical journals T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153 Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II Th. Fabula, B. Schmidt: „Modellierung mikromechanischer Sensoren…

Monolithic BOD-structure

Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications     Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195 Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining and anisotropic…