30y anniversary of MEMS semiconductors

Piezoelectric Silicon Sensors & Actuators     HighTech experience that counts This project list contains a selection of projects that demonstrate our profound, long-term experience in product development and management of more complex technology projects in high-tech industries, namely in the areas of: Sensors & Actuators, MEMS & Semiconductor Manufacturing, including the semiconductor industry, as…

Causality in Science and Machine Learning

Causality in Science and Machine Learning   Aachen Machine Learning Network, November 28th at RWTH Aachen – Experts shared their experience, how to use new methods to explore causal structures from data. Sound methods for causal analysis are young and widely unknown: Prof. Dr. Jörg Breitung, University Cologne: “Causal Analysis in Empirical Economics – attribution of influencing…

InterScience Trusted Partnership

Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit der InterScience GmbH und bedanken uns für das in uns gesetzte Vertrauen als Trusted Partner.   InterScience “Die InterScience steht für ein Netzwerk von kooperierenden ´Trusted Partnern´. Wir verstehen darunter Experten aus verschiedenen Anwendungsgebieten und Branchen mit Erfahrungen und Fähigkeiten im Management von Unternehmen und der Unternehmensberatung.” ~…

Digitale interaktive Didaktik

Launch des Forums „digitale interaktive Didaktik“ Die Auftaktveranstaltung fand am Fraunhofer-Institut für graphische Datenverarbeitung statt und über zwanzig Teilnehmer aus Dienstleistungs- und Industriefirmen, sowie Forschungs- und Öffentlichen Einrichtungen waren der Einladung des ZGDV e.V. nach Darmstadt gefolgt. Die Begrüßung und Vorstellung übernahm Stefan Dudzinski-Lange (Vorstand ZGDV), der fachkundig in das Thema einführte: “Im Fokus stehen…

Petersberger Forum

  Impulse – Herausforderungen – Chancen   „Krise ist ein produktiver Zustand. Man muss ihm nur den Beigeschmack der Katastrophe nehmen.” ~ Professor Udo Di Fabio   Die Referenten Prof. Dr. Dr. Udo Di Fabio, Professor für Öffentliches Recht und Richter am Bundesverfassungsgericht a. D. Prof. Dr. Nikolai Grube, Professor für Altamerikanistik und Ethnologie Prof. Dr. Claudia Kemfert,…

Resonant Microsensors

Invited paper for “Sensors and Materials”   Special Issue : Resonant Microsensors   Paper Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors Authors: Thomas Fabula and Stephanus Büttgenbach Year of publication: 1997 Volume: 9 Number: 8 Pagination: 501-519   Keywords beam-on-diaphragm, pressure sensor, electromechanical coupling factor, finite-element modeling, modal analysis, mode coupling, piezoelectric thin films,…

Monolithic BOD-structure

Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications     Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195 Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining and anisotropic…

MEMS Literature

Bibliography   MEMS MEMS bibliography of the doctoral thesis as of December 1994.   [ABV 93] Abschlussbericht zum BMFT-Verbundprojekt: Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren, VDI-VDE IT GmbH, Berlin (1993) [Adler 89] E.L. Adler, Electromechanical coupling to Lamb and shear-horizontal modes in piezoelectric plates, IEEE Trans. on UFFC, Vol. 36, No. 2 (1989) 223-230…

PhD-Thesis

Dissertation in Physik   ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen – Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation   Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der…