Problem-solving workshop Future Skills for the DeepTech Industry “NRW is home to the medium-sized manufacturing industry, Mechanical engineering and plant technology, the automotive and supplier industry, and information and telecommunications corporations (ICT). Data science, i.e. data analysis, machine learning (ML), artificial intelligence (AI), as well as industrial Internet of Things (IIoT), cloud &…
MEMS and resonant sensors UETP-MEMS Course: Resonant microsensors Thomas Fabula, Hans-Joachim Wagner, Institute of Microstructure and Information Technology (IMIT), Villingen-Schwenningen, Germany Albert Prak, MESA Research Institute, University of Twente, Enschede, The Netherlands Introduction to MEMS and resonant sensors 1.1 Micro-electro-mechanical-systems The capability of microelectronics has been increased about more than thirty years concerning geometrical size,…
UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project Objectives Resonant structures are one of the mostly used techniques in sensor applications. High accuracy and cost effective signal processing are the key features of resonant sensors. By the end of the course, the participants will have a greater understanding of…
Silizium Mehrfachbalken-Resonatoren Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Dipl.-Phys. Hans-Joachim Wagner, Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. (HSG-IMIT) Abschlussbericht Frequenz-analoge Kraftsensoren in Silizium mit quasi-digitalem Frequenzausgang werden vorgestellt. Der Kraft empfindliche Resonator wird durch eine membranartige Dreifachbalkenstruktur (Dicke = 25 µm) realisiert. Die Anregung der Resonanzschwingungen des im antisymmetrischen Grundmode (äußere Balken gegenphasig zum inneren Balken)…
Robert Bosch GmbH Abschlussbericht Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Im Rahmen des BMFT-Verbundprojekts: “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” wurden bei BOSCH die Grundlagen frequenzanaloger Druck- und Kraft-Sensoren in Silicium mit Fremdanregung durch piezo-elektrisches Zinkoxid erarbeitet. Die Integration des piezoelektrischen Materials in mikroskopisches Verfahrensabläufe wurde erreicht und geeignete Batch-Prozesse entwickelt, die in der Folge…
Bizerba Werke Abschlussbericht Anwendungen frequenz-analoger Kraft-Sensoren in der Wägetechnik Kurzfassung des Vortrags anlässlich der Abschlusspräsentation des Projektes “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” im Rahmen des BMFT-Förderschwerpunkts Mikrosystemtechnik. Dr.-Ing. Klaus Peter Selig, Dipl.-Phys. Dieter Fischle, Bizerba Werke Balingen, 1993 Zusammenfassung Die heute bekannten Methoden der Mikromechanik gestatten die Herstellung von Resonatoren,…
GMS GmbH Abschlusspräsentation Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” Dr. Herbert Bartuch, GMS – Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Industriestraße 7, St. Georgen Zusammenfassung Es wurden Silizium-Balken (Dicke: ca. 50 μm, Breite: 1 mm) unterschiedlicher Länge (3 – 10 mm) mittels…
UETP-MEMS Course Proceedings FSRM Neuchatel, Switzerland University Enterprise Training Partnership MEMS project with the support of the European Programme COMETT Objectives UETP-MEMS course Modeling and numerical simulation of both the fabrication process and the operation of single devices and entire integrated systems are more and more necessary. Computer aided design (CAD) can reduce the…
Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik Dipl.-Phys. Thomas Fabula Fortbildungsseminar “Technologien zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente” Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik Villingen-Schwenningen 17.-18. November 1991 Abstract Das Seminar gibt einen detaillierten Überblick über die Technologien, die bei der Herstellung mikromechanischer Bauelemente Verwendung finden und zeigt darüber hinaus einige exemplarische Anwendungsmöglichkeiten im Hinblick…
Transformation of manual Engineering into CAD Services For more than three years, we have been supporting LEON GmbH in Klagenfurt (Austria) in the systematic changeover to CAD-supported design and planning work for large-scale plants in the paper and pulp industry as well as in the general chemical sector. Consulting & implementation services Our…