Piezoelectric Silicon Sensors & Actuators HighTech experience that counts This project list contains a selection of projects that demonstrate our profound, long-term experience in product development and management of more complex technology projects in high-tech industries, namely in the areas of: Sensors & Actuators, MEMS & Semiconductor Manufacturing, including the semiconductor industry, as…
Real-time data-acquisition system realized with Forth International Forth2020 meetings “Thanks to SVFIG members and FIGs chapters from all around the world we started this new way of communication in times of quarantine. Covering all the world, from Australia to California present now in 4 continents. Forthers are together for first time, showing what they…
Am 21. September 2017 fand der Kickoff-Workshop zum Ausgründungsvorhaben im Rotonda Business Club Köln statt. Unter der Leitung von Univ.-Professor (emeritus) Dr. Ulrich Trottenberg diskutierten wir in einer Expertenrunde unter Beteiligung von Prof. Dr. Andreas Wahner (FZ Jülich), Privatdozent Dr. Hendrik Elbern (RIU Köln) und weiteren wissenschaftlichen, sowie industriellen außer-universitären Fachleuten die Möglichkeiten und Herausforderungen…
Erfindungsmeldung Erfindung im Rahmen der Mitarbeit beim Konzern-Service-Center Forschung & Entwicklung (KSC F&E) der Deutschen Telekom AG in Bonn: Erfindung: “MailFon“, eingereicht am 03.07.1997 Gegenstand: “Unified Messaging Services für integrierte E-Mail-Dienste auf Basis des TK-Festnetzes (Netzinfrastruktur) unter Einbeziehung von Text-to-Speech (TTS) und anderer Message-Konverter (OCR, SMS, FAX)” Erfinder: Dr. Thomas Fabula, Dr. Reimund Dorn,…
Monolithic bridge-on-diaphragm microstructures Abstract Monolithic bridge-on-diaphragm (BOD) microstructures for sensor applications were fabricated by means of laser machining and anisotropic etching techniques. The pressure-frequency-characteristic was measured by acoustical excitation of the microbridge to resonant vibrations and optical detection of the resonance frequency. In the pressure range between 0.8 bar and +1.0 bar the pressure-frequency-characteristic is…
Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195 Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining and anisotropic…
Dissertation – Einleitung Inhalt Die vorliegende Arbeit ist Teil eines BMFT-Verbundprojektes (Förderkennzeichen: 13~AS~0114), das am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung durchgeführt wurde, in dessen Rahmen frequenzanaloge mikromechanische Sensoren entworfen und hergestellt wurden. Ziel der vorliegenden Doktorarbeit war es, numerische Berechnungsmodelle zu entwickeln und verschiedene experimentelle Meßmethoden einzusetzen, um das…
Microtechnology Research Institute Wissenschaftlicher Mitarbeiter Herr Dipl.-Phys. Thomas Fabula, ist seit dem 01.10.1988 als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. tätig. Herr Fabula war zunächst mit der Planung des Institutsaufbaus sowie der Konzeption und Realisierung der kompletten EDV-Infrastruktur befaßt und hat maßgeblich zum Aufbau des mikromechanischen…
The “Dokumentation Mikrotechnik” contains abstracts and reviews of important papers from microtechnology and scientific literature. This monthly literature service is published by the Microsystems Engineering Service Unit of the HSG-IMIT. Here are some examples of interesting articles on the mechanical buckling behavior of micromechanical beam structures. Geijselaers 1991 Das thermische Verhalten eines resonanten Sensors…
Verifikation durch experimentelle Messtechniken Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen Schwingungsmessung in der Mikrosystemtechnik In dem BMFT-Verbundprojekt Frequenzanaloge Sensoren wurden vielfältige optische Schwingungsmessungen an mikromechanischen Druck-, Kraft- und Strömungssensoren durchgeführt. Diese Sensoren bestehen in der Regel aus schwingungsfähigen Balken- oder Membranstrukturen, die elektrothermisch oder mit Hilfe von piezoelektrischen Dünnschichten (z.B. ZnO, AlN) zum Schwingen angeregt werden. Durch…