COMETT-Course Resonant Microsensors
UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project Objectives Resonant structures are one of…
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Blog
Piezoelectrical driven Force Sensor
MME´94 Article from Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 5, No. 2 (1995) 143-146, pesented at The Fifth European Workshop on Micromechanics (MME…
MEMS Patent
Monolithically integrated semiconductor element use thereof and method for producing such a semiconductor element Invention DE4332653 Monolithisch integriertes Halbleiterelement,…
Finite Element Programs
Finite Element Analysis program vendors August 1994 Commercially available finite element codes for numerical analyses program company distributor /…
MEMS Modal Analysis
Modal Analysis performed with ANSYS Modal Analysis of a Resonant diaphragm pressure sensor based on a silcon MEMS microstructure.…
Innovative sensor design
Triple-Beam Resonant Silicon Force Sensor Based on Piezoelectric Thin Films Authors Th. Fabula, H.-J. Wagner, B. Schmidt Institut für…
Multiphysics-Simulation Strömungssensor
11. CADFEM Users’ Meeting 27.-29. Oktober 1993 Bamberg Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors Thomas Fabula, Nicolaus Hey, Stephan…
Resonant silicon sensors with electrothermal excitation
Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metall-Dünnfilm-Technologie H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss* *…
Sensoren mit elektrothermischer Anregung
Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss* *…
Aufbau Mikrotechnik Forschungsinstitut
Microtechnology Research Institute Wissenschaftlicher Mitarbeiter Herr Dipl.-Phys. Thomas Fabula, ist seit dem 01.10.1988 als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für…
Beulverhalten mikromechanischer Bauelemente
Dokumentation Mikrotechnik Microtechnology literature The “Dokumentation Mikrotechnik” contains abstracts and reviews of important papers from microtechnology and scientific literature.…
Experimentelle Verifikation
Verifikation durch experimentelle Messtechniken Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen Schwingungsmessung in der Mikrosystemtechnik In dem BMFT-Verbundprojekt Frequenzanaloge Sensoren wurden vielfältige optische…