Verifikation durch experimentelle Messtechniken Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen Schwingungsmessung in der Mikrosystemtechnik In dem BMFT-Verbundprojekt Frequenzanaloge Sensoren wurden vielfältige optische…
Vortrag beim 3. Vibrometer-Seminar der Polytec GmbH in Waldbronn: Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen M. Freygang, T. Fabula Institut für…
FASENS Verbundforschung am IMIT Die Ergebnisse eines ersten umfangreichen Projektes, dass vom Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) in…
Abschlusspräsentation MotoMeter Resonante Quarz-Drucksensoren Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” Dr.-Ing. Stefan Dagenbach, Werner Hartig, MotoMeter GmbH,…
FASENS Mehrfachbalken-Resonatoren Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Dipl.-Phys. Hans-Joachim Wagner, Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. (HSG-IMIT) Abschlussbericht Frequenz-analoge Kraftsensoren…
FASENS Abschlussbericht Robert Bosch GmbH Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Im Rahmen des BMFT-Verbundprojekts: “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger…
FASENS Abschlussbericht Bizerba Werke Anwendungen frequenz-analoger Kraft-Sensoren in der Wägetechnik Kurzfassung des Vortrags anlässlich der Abschlusspräsentation des Projektes “Einsatz…
FASENS Abschlusspräsentation GMS GmbH Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung…
FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Villingen-Schwenningen 31. März 1993 Final report Application of micromechanics for…
Antrieb von Aktoren durch piezoelektrische Dünnschichten Dipl.-Phys. Th. Fabula Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. Februar 1993 Piezoelektrische Dünnschicht-Materialien Für…
UETP-MEMS Course Proceedings FSRM Neuchatel, Switzerland University Enterprise Training Partnership MEMS project with the support of the European Programme COMETT…
Fibronix Sensoren GmbH Kiel Optimierung des PVDF-Topfdurchmessers Abgleich der Materialdaten von Silikon unter Berücksichtigung des hyperelastischen Materialverhaltens durch entsprechenden…