Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen
Vortrag beim 3. Vibrometer-Seminar der Polytec GmbH in Waldbronn: Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen M. Freygang, T. Fabula Institut für…
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Blog
Verbundforschung frequenzanaloge Sensoren
FASENS Verbundforschung am IMIT Die Ergebnisse eines ersten umfangreichen Projektes, dass vom Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) in…
MotoMeter – Frequenzanaloge Quarz-Drucksensoren
Abschlusspräsentation MotoMeter Resonante Quarz-Drucksensoren Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” Dr.-Ing. Stefan Dagenbach, Werner Hartig, MotoMeter GmbH,…
Si-Kraftsensoren mit piezoelektrischem Antrieb
FASENS Mehrfachbalken-Resonatoren Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Dipl.-Phys. Hans-Joachim Wagner, Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. (HSG-IMIT) Abschlussbericht Frequenz-analoge Kraftsensoren…
BOSCH – Frequenzanaloge Sensoren
FASENS Abschlussbericht Robert Bosch GmbH Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Im Rahmen des BMFT-Verbundprojekts: “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger…
BIZERBA – Sensoren für Wägetechnik
FASENS Abschlussbericht Bizerba Werke Anwendungen frequenz-analoger Kraft-Sensoren in der Wägetechnik Kurzfassung des Vortrags anlässlich der Abschlusspräsentation des Projektes “Einsatz…
GMS – Resonante Silizium Sensoren
FASENS Abschlusspräsentation GMS GmbH Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung…
Verbundforschung Mikrosystemtechnik
FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Villingen-Schwenningen 31. März 1993 Final report Application of micromechanics for…
Piezoelectric Micro-Actuators
Antrieb von Aktoren durch piezoelektrische Dünnschichten Dipl.-Phys. Th. Fabula Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. Februar 1993 Piezoelektrische Dünnschicht-Materialien Für…
CAD Tools for MEMS
UETP-MEMS Course Proceedings FSRM Neuchatel, Switzerland University Enterprise Training Partnership MEMS project with the support of the European Programme COMETT…
FE-Optimierung von Ultraschallwandlern
Fibronix Sensoren GmbH Kiel Optimierung des PVDF-Topfdurchmessers Abgleich der Materialdaten von Silikon unter Berücksichtigung des hyperelastischen Materialverhaltens durch entsprechenden…
Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik
Fortbildungsseminar Dienstleistungszentrums Mikromechanik Das Seminar gibt einen Überblick der vielfältigen Anwendungen der Finite-Elemente-Methode (FEM) in der Mikrotechnik. Anhand anwendungsorientierter…