PhD-Thesis

Dissertation in Physik   ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen – Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation   Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der…

Piezoelectrical driven Force Sensor

Article from Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 5, No. 2 (1995) 143-146, pesented at The Fifth European Workshop on Micromechanics (MME ’94), 5-6 September 1994, Pisa, Italy: Piezoelectrical driven resonant force sensor: fabrication and crosstalk by K. Funk, T. Fabula, G. Flik, F. Lärmer   Abstract This paper presents a resonant force sensor comprising piezoelectric ZnO thin-film transducers for…

MEMS Patent

Monolithically integrated semiconductor element, use thereof and method for producing such a semiconductor element DE4332653 (C1) Monolithisch integriertes Halbleiterelement, dessen Verwendung sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterelements Germany DE4332653, September 1994   Inventors ALAVI, Mani Dipl.-Ing. Dr.rer.nat. [DE]; FABULA, Thomas Dipl.-Phys. [DE]; SCHUMACHER, Axel Dipl.-Phys. [DE]; WAGNER, Hans-Joachim Dipl.-Phys. [DE]   Abstract The monolithically integrated semiconductor element has…

Innovative sensor design

Triple-Beam Resonant Silicon Force Sensor Based on Piezoelectric Thin Films   Authors Th. Fabula, H.-J. Wagner, B. Schmidt Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Wilhelm-Schickard-Strasse 10, D-78052 Villingen-Schwenningen Germany S. Büttgenbach Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig Germany   Journal Sensors and Actuators A:…

Sensoren mit elektrothermischer Anregung

Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie   H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss*   * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…

Verbundforschung Mikrosystemtechnik

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren   Villingen-Schwenningen 31. März 1993   Final report Application of micromechanics for the manufacturing of frequency-analogous sensors   Abstract “The most important types of micromechanical resonance sensors are bulk acoustic wave sensors, surface acoustic wave sensors and flexural plate wave sensors. In this report technologies for the preparation…

CAD Tools for MEMS

UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland University Enterprise Training Partnership MEMS project with the support of the European Programme COMETT   Objectives Modeling and numerical simulation of both the fabrication process and the operation of single devices and entire integrated systems are more and more necessary. Computer aided design (CAD) can reduce the number of…

Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik

Fortbildungsseminar des Dienstleistungszentrums Mikromechanik   Das Seminar gibt einen Überblick der vielfältigen Anwendungen der Finite-Elemente-Methode (FEM) in der Mikrotechnik. Anhand anwendungsorientierter Beispiele werden typische Problemstellungen aus dem Bereich der Sensorik und Aktorik behandelt.   Ziel ist es, die Stärken dieser Simulationsmethode aufzuzeigen und ein gefühl für den notwendigen Aufwand, die wichtigsten beeinflussenden Parameter und die…