Invited paper Sensors and Materials Special Issue : Resonant Microsensors Paper Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors Authors: Thomas Fabula and Stephanus Büttgenbach Year of publication: 1997 Volume: 9 Number: 8 Pagination: 501-519 Keywords beam-on-diaphragm, pressure sensor, electromechanical coupling factor, finite-element modeling, modal analysis, mode coupling, piezoelectric thin films, resonant force…
Papers & Presentations Scientific & technical publications T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153 Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II Th. Fabula, B. Schmidt: „Modellierung mikromechanischer Sensoren…
CAE & FEM-Projekte Berechnung und Simulation von Kunststoffprodukten REHAU AG & Co, Rehau Bauteil Simulation Projektleitung bei der Konstruktion eines Kfz-Fahrpedals für einen großen OEM der Automotive-Branche: Koordinierung von 3D-Konstruktion und Simulation (Finite-Elemente-Methode) Durchführung der FE-Berechnungen Dokumentation und Interpretation der Berechnungsergebnisse Durchführung von Designänderungen infolge FE-Optimierung Prozeß Simulation Projektleitung bei der schrittweisen Realisierung…
FEM-Projekt Konstruktion – Elektromechanik Hella KG Hueck & Co. Lippstadt “Ihre Anforderungen bezüglich der FEM-Berechnungen waren nicht ´state-of-the-art´ und somit eine Herausforderung für unser Unternehmen. Um so mehr freue ich mich, daß wir das Berechnungsprojekt so erfolgreich durchgeführt haben und gemeinsam neue Erkenntnisse ableiten konnten.” ~ Dr. Thomas Fabula Projektbezogene Zusammenarbeit Erstellung eines…
Fachtagung Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik FH München Optimierung resonanter mikromechanischer Sensoren für mechanische Größen Abstract Der Vortrag geht auf die numerische und experimentelle Untersuchung des statischen und dynamischen Verhaltens resonanter Mikrosensoren ein. Den Schwerpunkt bildet die Simulation frequenzanaloger Druck- und Kraftsensoren auf der Basis resonanter, mikromechanischer Silizium-Bimorphstrukturen, sowie…
Fachvortrag Haus der Technik im Rahmen der Tagung “Mikrotechnik im Automobilbau” Designoptimierung mikrotechnischer Sensoren mit Finite-Element-Modellierung Die Entwicklung der Mikroelektronik hat in den letzten drei Jahrzehnten zu einer außerordentlichen Steigerung der Komplexität und der Leistungsfähigkeit integrierter Schaltungen geführt bei gleichzeitiger Reduktion der Strukturgrößen, der Leistungsaufnahme und des Preises. Dadurch wurden große Bereiche der…
Finite-Elemente-Berechnung von Elektromagneten Krupp Fördertechnik GmbH Essen-Westviertel Projektbezogene Zusammenarbeit Gemeinsame Erarbeitung des Projekt-Pflichtenheftes mit dem Kunden, das als Projektplan und Angebotsgrundlage diente Angebotsausarbeitung auf Festpreisbasis mit den zu erarbeitenden Meilensteinen FEM-Modellbildung und Durchführung von Magnetfeld-Berechnungen Überprüfung eines realisierten Elektromagnet-Designs Korrelation der Elektromagnet-Ergebnisse mit experimentellen Meßdaten Dimensionierung eines vergleichbaren Permanent-Magnetsystems vergleichende Auswertung des Permanentmagneten mit…
Finite Elemente Methode Computerberechnungen reduzieren Versuchszyklen Dr.-Ing. Dieter Berhalter, Dr.-Ing. Alexander Bakic Die Leistungsfähigkeit moderner Rechner kann im Rahmen einer Bauteilentwicklung zu erheblichen Einsparungen von Konstruktions- und Produktionszeiten führen. Dabei setzen sich immer stärker Simulationswerkzeuge wie FEM-Pakete (Finite Elemente Methode) durch, mit denen das statische, dynamische und thermische Verhalten der konstruierten Teile im Computer…
Forschungsarbeiten Dynamische FEM Simulationen Diplomand: Andreas Schroth Titel: Modellierung mikromechanischer Membranen Diplomarbeit TU Chemnitz / HSG-IMIT Ort: VS-Villingen Jahr: 1992 Simulation mikromechanischer Membranen Optischer Messplatz für MEMS-Strukturen Diplomand: Michael Müller Titel: Aufbau und Inbetriebnahme eines optischen Meßplatzes zur Charakterisierung von resonanten mikromechanischen Strukturen Diplomarbeit: FH Furtwangen / HSG-IMIT Ort: VS-Villingen Jahr: 1992 Schwingungsmessung an…
Bibliography MEMS MEMS bibliography of the doctoral thesis as of December 1994. [ABV 93] Abschlussbericht zum BMFT-Verbundprojekt: Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren, VDI-VDE IT GmbH, Berlin (1993) [Adler 89] E.L. Adler, Electromechanical coupling to Lamb and shear-horizontal modes in piezoelectric plates, IEEE Trans. on UFFC, Vol. 36, No. 2 (1989) 223-230 [Alavi…