Dissertation – Einleitung

Deep Technology, R&D, Univ, Wissenschaft

Dissertation Einleitung   Inhalt Die vorliegende Arbeit ist Teil eines BMFT-Verbundprojektes (Förderkennzeichen: 13~AS~0114), das am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung durchgeführt wurde, in dessen Rahmen frequenzanaloge mikromechanische Sensoren entworfen und hergestellt wurden. Ziel der vorliegenden Doktorarbeit war es, numerische Berechnungsmodelle zu entwickeln und verschiedene experimentelle Meßmethoden einzusetzen, um das dynamische…

Verbindung zwischen CATIA und ANSYS

CAE, Engineering, PLM, Software

TCIGES als ideale Schnittstelle zwischen CATIA und ANSYS Produktmanagement und Produktmarketing für die CAD-FEM-Schnittstelle, die in Eigenentwicklung durch die TCN CAE-Technologien + Systeme GmbH realisiert wurde:   Leistungsfähige IGES-Schnittstelle “Die TCIGES-Schnittstelle wurde speziell für den Datenaustausch zwischen dem 3D-Konstruktionsprogramm CATIA von Dassault Systèmes und dem FEM-Programm ANSYS entwickelt. Es werden 3D-Drahtmodelle und Flächengeometrien in das IGES-Format…

UETP-MEMS Course – Resonant microsensors

Deep Technology, R&D, Wissenschaft

MEMS Resonant  Microsensors   UETP-MEMS Course: Resonant microsensors Thomas Fabula, Hans-Joachim Wagner, Institute of Microstructure and Information Technology (IMIT), Villingen-Schwenningen, Germany Albert Prak, MESA Research Institute, University of Twente, Enschede, the Netherlands Introduction to MEMS and resonant sensors 1.1 Micro-electro-mechanical-systems The capability of microelectronics has been increased about more than thirty years concerning geometrical size, power…

COMETT-Course Resonant Microsensors

Deep Technology, Engineering, Innovation, R&D, Wissenschaft

UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project   Objectives Resonant structures are one of the mostly used techniques in sensor applications. High accuracy and cost effective signal processing are the key features of resonant sensors. By the end of the course, the participants will have a greater understanding of…

Piezoelectrical driven Force Sensor

Automotive, CAE, Innovation, R&D, Wissenschaft

MME´94 Article from Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 5, No. 2 (1995) 143-146, pesented at The Fifth European Workshop on Micromechanics (MME ’94), 5-6 September 1994, Pisa, Italy:   Piezoelectrical driven resonant force sensor: fabrication and crosstalk by K. Funk, T. Fabula*, G. Flik, F. Lärmer   Robert Bosch GmbH, Postfach 10 60 50, D-70049 Stuttgart, Germany *HSG-IMIT,…

MEMS Patent

Engineering, Innovation, R&D, Wissenschaft

Monolithically integrated semiconductor element use thereof and method for producing such a semiconductor element   Invention DE4332653 Monolithisch integriertes Halbleiterelement, dessen Verwendung sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterelements Germany DE4332653, September 1994 Inventors Erfinder ALAVI, Mani – Dipl.-Ing. Dr.rer.nat. [DE]; FABULA, Thomas – Dipl.-Phys. [DE]; SCHUMACHER, Axel – Dipl.-Phys. [DE]; WAGNER, Hans-Joachim – Dipl.-Phys. [DE]    …

Innovative sensor design

Deep Technology, Innovation, R&D, Wissenschaft

Triple-Beam Resonant Silicon Force Sensor Based on Piezoelectric Thin Films   Authors Th. Fabula, H.-J. Wagner, B. Schmidt Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Wilhelm-Schickard-Strasse 10, D-78052 Villingen-Schwenningen, Germany S. Büttgenbach Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig, Germany   Journal Sensors and Actuators A:…

Multiphysics-Simulation Strömungssensor

CAE, Industrie, R&D, Wissenschaft

11. CADFEM Users’ Meeting 27.-29. Oktober 1993 Bamberg   Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors   Thomas Fabula, Nicolaus Hey, Stephan Messner   Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. D-78052 Villingen-Schwenningen Wilhelm-Schickard-Straße 10 Abstract Im Rahmen eines vom BMFT geförderten Verbundprojektes wurden resonante mikromechanische Silizium-Balken­­­struk­turen mit elektro­ther­mischer Anregung und resistiver Abtastung…

Resonant silicon sensors with electrothermal excitation

Industrie, Innovation, Wissenschaft

Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metall-Dünnfilm-Technologie   H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss*   * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…

Sensoren mit elektrothermischer Anregung

Industrie, Innovation, R&D, Wissenschaft

Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie   H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss*   * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…