Multiphysics-Simulation Strömungssensor

11. CADFEM Users’ Meeting 27.-29. Oktober 1993 Bamberg   Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors   Thomas Fabula, Nicolaus Hey, Stephan Messner   Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. D-78052 Villingen-Schwenningen Wilhelm-Schickard-Straße 10 Abstract Im Rahmen eines vom BMFT geförderten Verbundprojektes wurden resonante mikromechanische Silizium-Balken­­­struk­turen mit elektro­ther­mischer Anregung und resistiver Abtastung…

Resonant silicon sensors with electrothermal excitation

Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metall-Dünnfilm-Technolgie   H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss*   * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…

Sensoren mit elektrothermischer Anregung

Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie   H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss*   * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…

Experimentelle Verifikation

Verifikation durch experimentelle Messtechniken   Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen Schwingungsmessung in der Mikrosystemtechnik In dem BMFT-Verbundprojekt Frequenzanaloge Sensoren (FASENS) wurden vielfältige optische Schwingungsmessungen an mikromechanischen Druck-, Kraft- und Strömungssensoren durchgeführt. Diese Sensoren bestehen in der Regel aus schwingungsfähigen Balken- oder Membranstrukturen, die elektrothermisch oder mit Hilfe von piezoelektrischen Dünnschichten (z.B. ZnO, AlN) zum Schwingen angeregt werden.…

Verbundforschung Mikrosystemtechnik

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren   Villingen-Schwenningen 31. März 1993   Final report Application of micromechanics for the manufacturing of frequency-analogous sensors Abstract “The most important types of micromechanical resonance sensors are bulk acoustic wave sensors, surface acoustic wave sensors and flexural plate wave sensors. In this report technologies for the preparation of…

CAD Tools for MEMS

UETP-MEMS Course Proceedings FSRM Neuchatel, Switzerland University Enterprise Training Partnership MEMS project with the support of the European Programme COMETT   Objectives UETP-MEMS course Modeling and numerical simulation of both the fabrication process and the operation of single devices and entire integrated systems are more and more necessary. Computer aided design (CAD) can reduce the…

Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen

Invited contribution at the 1st Industry-University-Workshop on   Numerical Modelling and Simulation of Sensors   Workshop-Programm Kapazitive Sensoren, Dipl.-Ing. J.G. Korvink Thermoelektrische Effekte in Halbleiter-Devices, Dipl.-Ing. K. Kells Magnetischer Flusskonzentrator für Hall Sensoren, Dipl.-Ing. H. Lechner Vertical Hall Sensoren, Dr. M. Roos Simulation von Magnetfeld-Sensoren, Dr. J.F. Buergler Teilnehmerthema: Hahn-Schickard-Institut, VS-Villingen, Deutschland: Entwurf und Auslegung…

FE-Berechnungen an Quarz-Strukturen

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren   BIZERBA-Werke Wilhelm-Kraut GmbH & Co. KG, Balingen 4. Juli 1990   Dynamische FEM-Rechnungen Modalanalyse Kraft-Frequenz-Kennlinie resonante Anregung   Untersuchungen an Doppelstimmgabeln Strukturoptimierung (statisch, dynamisch) parametrisierte DETF (Double-Ended Tuning-Fork) Antwortspektrum infolge harmonischer Anregung   Alternative Sensorstrukturen ‘Single-Beam’ Strukturen ‘Multistring’-Anordnungen   Resonante Sensoren Ein resonanter Sensor wird charakterisiert durch:…

Berechnung von Quarz-Kraftsensoren

Dynamische FEM-Rechnungen resonanter Quarz-Kraftsensoren BMFT-Projekt Statusbesprechung   Robert Bosch GmbH Gerlingen-Schillerhöhe Zentrale Forschung ZWD 17. Januar 1990   Frequenz-analoge Quarz-Sensoren Piezoelektrischer Quarz-Kristall als resonanter Sensor für mechanische Größen mit frequenz-analogem Ausgangssignal: das ausgegebene Frequenzsignal ist direkt proportional zur einwirkenden Messgröße (z.B. Kraft, Druck, Beschleunigung) und reduziert damit den Aufwand für die Elektronik-Schaltung erheblich. Quarz-Kristall  …

Finite-Element System ANSYS

FEM-Programmpaket ANSYS Meeting mit Priv.-Doz. Dr. Büttgenbach FFMU – Forschungsgesellschaft für Uhren- und Mikrotechnik e.V. Villingen-Schwenningen   Allgemeines zu FEM-Programmen FEM-Anwendungen in der Mikrotechnik Leistungskriterien für FEM-Programme Spezielle Anforderungen der Mikromechanik Überblick FEM-Programme   Das Programmpaket A N S Y S Allgemeines Berechnungsmöglichkeiten Allgemein gekoppelte Feldberechnungen Modellierung von Piezoelektrizität Elemente-Bibliothek von ANSYS Prinzipieller ANSYS-Rechenlauf  …