Sensoren mit elektrothermischer Anregung

Industrie, Innovation, R&D, Wissenschaft

Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie   H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss*   * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…

Experimentelle Verifikation

Deep Technology, Engineering, Innovation, Wissenschaft

Verifikation durch experimentelle Messtechniken   Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen Schwingungsmessung in der Mikrosystemtechnik In dem BMFT-Verbundprojekt Frequenzanaloge Sensoren (FASENS) wurden vielfältige optische Schwingungsmessungen an mikromechanischen Druck-, Kraft- und Strömungssensoren durchgeführt. Diese Sensoren bestehen in der Regel aus schwingungsfähigen Balken- oder Membranstrukturen, die elektrothermisch oder mit Hilfe von piezoelektrischen Dünnschichten (z.B. ZnO, AlN) zum Schwingen angeregt werden.…

Verbundforschung Mikrosystemtechnik

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&D, VDI, Wissenschaft

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren   Villingen-Schwenningen 31. März 1993   Final report Application of micromechanics for the manufacturing of frequency-analogous sensors Abstract “The most important types of micromechanical resonance sensors are bulk acoustic wave sensors, surface acoustic wave sensors and flexural plate wave sensors. In this report technologies for the preparation of…

CAD Tools for MEMS

Engineering, Innovation, R&D, Wissenschaft

UETP-MEMS Course Proceedings FSRM Neuchatel, Switzerland University Enterprise Training Partnership MEMS project with the support of the European Programme COMETT   Objectives UETP-MEMS course Modeling and numerical simulation of both the fabrication process and the operation of single devices and entire integrated systems are more and more necessary. Computer aided design (CAD) can reduce the…

Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen

Engineering, R&D, Univ, Wissenschaft

Invited contribution at the 1st Industry-University-Workshop on   Numerical Modelling and Simulation of Sensors   Workshop-Programm Kapazitive Sensoren, Dipl.-Ing. J.G. Korvink Thermoelektrische Effekte in Halbleiter-Devices, Dipl.-Ing. K. Kells Magnetischer Flusskonzentrator für Hall Sensoren, Dipl.-Ing. H. Lechner Vertical Hall Sensoren, Dr. M. Roos Simulation von Magnetfeld-Sensoren, Dr. J.F. Buergler Teilnehmerthema: Hahn-Schickard-Institut, VS-Villingen, Deutschland: Entwurf und Auslegung…

FE-Berechnungen an Quarz-Strukturen

Deep Technology, Engineering, Innovation, IoT

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren   BIZERBA-Werke Wilhelm-Kraut GmbH & Co. KG, Balingen 4. Juli 1990   Dynamische FEM-Rechnungen Modalanalyse Kraft-Frequenz-Kennlinie resonante Anregung   Untersuchungen an Doppelstimmgabeln Strukturoptimierung (statisch, dynamisch) parametrisierte DETF (Double-Ended Tuning-Fork) Antwortspektrum infolge harmonischer Anregung   Alternative Sensorstrukturen ‘Single-Beam’ Strukturen ‘Multistring’-Anordnungen   Resonante Sensoren Ein resonanter Sensor wird charakterisiert durch:…

Berechnung von Quarz-Kraftsensoren

Automotive, CAE, Engineering, R&D, Wissenschaft

Dynamische FEM-Rechnungen resonanter Quarz-Kraftsensoren BMFT-Projekt Statusbesprechung   Robert Bosch GmbH Gerlingen-Schillerhöhe Zentrale Forschung ZWD 17. Januar 1990   Frequenz-analoge Quarz-Sensoren Piezoelektrischer Quarz-Kristall als resonanter Sensor für mechanische Größen mit frequenz-analogem Ausgangssignal: das ausgegebene Frequenzsignal ist direkt proportional zur einwirkenden Messgröße (z.B. Kraft, Druck, Beschleunigung) und reduziert damit den Aufwand für die Elektronik-Schaltung erheblich. Quarz-Kristall  …

Finite-Element System ANSYS

Engineering, Industrie, R&D, Software, Wissenschaft

FEM-Programmpaket ANSYS Meeting mit Priv.-Doz. Dr. Büttgenbach FFMU – Forschungsgesellschaft für Uhren- und Mikrotechnik e.V. Villingen-Schwenningen   Allgemeines zu FEM-Programmen FEM-Anwendungen in der Mikrotechnik Leistungskriterien für FEM-Programme Spezielle Anforderungen der Mikromechanik Überblick FEM-Programme   Das Programmpaket A N S Y S Allgemeines Berechnungsmöglichkeiten Allgemein gekoppelte Feldberechnungen Modellierung von Piezoelektrizität Elemente-Bibliothek von ANSYS Prinzipieller ANSYS-Rechenlauf  …

Real-time data acquisition system

R&D, Software, Univ, Wissenschaft

Real-time data acquisition system for laser and radio frequency spectroscopy T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula and W. Rupprecht Journal of Physics E: Scientific Instruments, Volume 21, Number 12 Abstract A low-cost real-time data acquisition system utilising a master (PC-XT) and a slave (Z80) computer for high-resolution atomic spectroscopy is described. The master and the slave computer are linked by a…

IPADS Literatur-Verwaltung

Bildung, Open Source, R&D, Software, Univ, Wissenschaft

I – IAP P – Physik A – Abstracts D – Dokumentations S – System IAP – Institut für Angewandte Physik der Universität Bonn, 1988   Motivation “Die Überlegungen, die zu dieser Literatur-Datenbank geführt haben …” Um effizient mit wissenschaftlichen Publikationen arbeiten zu können, ist es u.a. notwendig, sie überschaubar und nach bestimmten Gebieten einzusortieren. Der…