Erschienen in “Mikroelektronik Band 6 – Fachbeilage Mikroperipherik” Schwerpunktthema: “Modellierung von Komponenten der Mikrosystemtechnik” Ausgabe: Januar / Februar 1992, Heft 1, S. II Autor: Dipl.-Phys. Thomas Fabula (vollständige Artikelfassung) “Finite-Elemente Modellierung in der Mikromechanik” Präambel Im Rahmen der Modellierung von mikromechanischen Komponenten nimmt die Methode der Finiten Elemente eine wichtige Rolle bei der…
FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren BIZERBA-Werke Wilhelm-Kraut GmbH & Co. KG, Balingen 4. Juli 1990 Dynamische FEM-Rechnungen Modalanalyse Kraft-Frequenz-Kennlinie resonante Anregung Untersuchungen an Doppelstimmgabeln Strukturoptimierung (statisch, dynamisch) parametrisierte DETF (Double-Ended Tuning-Fork) Antwortspektrum infolge harmonischer Anregung Alternative Sensorstrukturen ‘Single-Beam’ Strukturen ‘Multistring’-Anordnungen Resonante Sensoren Ein resonanter Sensor wird charakterisiert durch: mechanische…
FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Statusbericht Gebrüder STAIGER GmbH, Sankt Georgen Februar 1990 Gesamtziel des Vorhabens ist die Erarbeitung der Technologie zur Herstellung miniaturisierter Sensoren mit frequenz-analogem Ausgangssignal auf der Basis mechanischer Resonatoren aus Quarz und Silizium. Als konkretes Entwicklungsziel des Vorhabens sollen Kraftsensoren auf Silizium-Basis mit ZnO-Dünnschichten, Kraftsensoren für den…
Physik in der Mikroelektronik DPG-Schule für Physik 25.-29. September 1989 Physikzentrum Bad Honnef Kurs IV “Der Kurs IV der DPG-Schule für Physik fand vom 24. bis zum 28.09.1989 im Physikzentrum Bad Honnef statt und hatte die ,Physik in der Mikroelektronik´ zum Gegenstand. Ziel der Veranstaltung war es, das breite Spektrum zwischen Grundlagenforschung und…