Publications

Publications Papers in scientific & technical journals T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153 Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II Th. Fabula, B. Schmidt: „Modellierung mikromechanischer Sensoren…

Erfindungsmeldung MailFon

Erfindungsmeldung   Erfindung im Rahmen der Mitarbeit beim Konzern-Service-Center Forschung & Entwicklung (KSC F&E) der Deutschen Telekom AG in Bonn: Erfindung: “MailFon“, eingereicht am 03.07.1997 Gegenstand: “Unified Messaging Services für integrierte E-Mail-Dienste auf Basis des TK-Festnetzes (Netzinfrastruktur) unter Einbeziehung von Text-to-Speech (TTS) und anderer Message-Konverter (OCR, SMS, FAX)” Erfinder: Dr. Thomas Fabula, Dr. Reimund Dorn,…

SAP R/3 system overview

Siemens Nixdorf certificate   Zertifikat Der Lehrgang “SAP R/3 Überblick” umfasst folgende Themen: Einführung Navigation R/3 Systemüberblick Überblick der Geschäftsprozesse Durchlauf eines Kerngeschäftsprozesses Planung & Implementierung Tools R/3 Support und Services     Siemens Nixdorf Informationssysteme AG   Further information “Siemens Nixdorf Informationssysteme, AG (SNI) was formed in 1990 by the merger of Nixdorf Computer and the Data Information…

FEM-Tag

Einsatz der FE-Methode in der Produktentwicklung: Integration von Berechnungsverfahren in den Konstruktionsprozeß   21. November 1995 Dortmund   Abstract Die rechnerische Simulation mit Hilfe der Finite-Element-Methode (FEM) ist heutzutage viel diskutiert und die Werbung verspricht sogar “fertige Knopfdrucklösungen” für den Anwender. Wir meinen, daß die Berechnung und Bauteiloptimierung nicht einfach zu automatisieren ist und es…

Silicon BOD-structures

Monolithic bridge-on-diaphragm microstructures   Abstract Monolithic bridge-on-diaphragm (BOD) microstructures for sensor applications were fabricated by means of laser machining and anisotropic etching techniques. The pressure-frequency-characteristic was measured by acoustical excitation of the microbridge to resonant vibrations and optical detection of the resonance frequency. In the pressure range between 0.8 bar and +1.0 bar the pressure-frequency-characteristic is…

Monolithic BOD-structure

Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications     Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195 Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining and anisotropic…

Betreute Akademische Arbeiten

Forschungsarbeiten   Dynamische FEM Simulationen Diplomand: Andreas Schroth Titel: Modellierung mikromechanischer Membranen Diplomarbeit TU Chemnitz, Fachbereich Elektrotechnik / HSG-IMIT Ort: VS-Villingen Jahr: 1992 Simulation mikromechanischer Membranen Optischer Messplatz für MEMS-Strukturen Diplomand: Michael Müller Titel: Aufbau und Inbetriebnahme eines optischen Meßplatzes zur Charakterisierung von resonanten mikromechanischen Strukturen Diplomarbeit: FH Furtwangen, Fachbereich Feinwerktechnik / HSG-IMIT Ort: VS-Villingen…

MEMS Literature

Bibliography   MEMS MEMS bibliography of the doctoral thesis as of December 1994.   [ABV 93] Abschlussbericht zum BMFT-Verbundprojekt: Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren, VDI-VDE IT GmbH, Berlin (1993) [Adler 89] E.L. Adler, Electromechanical coupling to Lamb and shear-horizontal modes in piezoelectric plates, IEEE Trans. on UFFC, Vol. 36, No. 2 (1989) 223-230…

Finite Elemente Methode

Methode der finiten Elemente     Die Finite-Elemente-Methode (FEM) hat sich in den Ingenieurswissenschaften wegen ihrer universellen Anwendbarkeit auf beliebig geformte Strukturen insbesondere auf dem Gebiet der Elastomechanik gegenüber anderen numerischen Berechnungsverfahren, z.B. der Finite-Differenzen-Methode (FDM) durchgesetzt. Aufgrund der allgemeinen mathematischen Formulierung der FE-Methode auf der Grundlage von Variationsprinzipien lässt sie sich auch zur Lösung…

Promotion Schlussbetrachtung

Dissertation Schlussbetrachtung Die Anforderungen an den Entwurf bei der Entwicklung von mikromechanischen Bauelementen bedingen den Einsatz rechnergestützter, numerischer Berechnungsmethoden, um sich überlagernde nichtlineare Effekte, anisotrope Materialeigenschaften und die elektro-thermo-mechanischen Wechselwirkungen bei Mehrschichtsystemen beschreiben zu können. So kann beispielsweise die Optimierung mikromechanischer Resonanzsensoren nur unter gleichzeitiger Betrachtung der statischen und dynamischen Eigenschaften unter Berücksichtigung des physikalischen…