BIZERBA – Sensoren für Wägetechnik

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&D

FASENS Abschlussbericht Bizerba Werke   Anwendungen frequenz-analoger Kraft-Sensoren in der Wägetechnik Kurzfassung des Vortrags anlässlich der Abschlusspräsentation des Projektes “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” im Rahmen des BMFT-Förderschwerpunkts Mikrosystemtechnik. Dr.-Ing. Klaus Peter Selig, Dipl.-Phys. Dieter Fischle, Bizerba Werke Balingen, 1993     Zusammenfassung Die heute bekannten Methoden der Mikromechanik gestatten die Herstellung von…

GMS – Resonante Silizium Sensoren

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&D

FASENS Abschlusspräsentation GMS GmbH   Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren”  Dr. Herbert Bartuch, GMS – Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Industriestraße 7, St. Georgen   Zusammenfassung Es wurden Silizium-Balken (Dicke: ca. 50 μm, Breite: 1 mm) unterschiedlicher Länge (3 – 10 mm)…

Verbundforschung Mikrosystemtechnik

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&D, VDI, Wissenschaft

FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren   Villingen-Schwenningen 31. März 1993   Final report Application of micromechanics for the manufacturing of frequency-analogous sensors (FASENS) Abstract “The most important types of micromechanical resonance sensors are bulk acoustic wave sensors, surface acoustic wave sensors and flexural plate wave sensors. In this report technologies for the…

Piezoelectric Micro-Actuators

Deep Technology, Engineering, Innovation, R&D

Antrieb von Aktoren durch piezoelektrische Dünnschichten Dipl.-Phys. Th. Fabula Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. Februar 1993   Piezoelektrische Dünnschicht-Materialien Für die Abschätzung der Leistungsfähigkeit des piezoelektrischen Antriebs werden die Materialien Aluminiumnitrid (AlN), Zinkoxid (ZnO) und PZT-Keramiken (PZT) zugrunde gelegt, die auch als Dünnschichten hergestellt werden können. Da die Materialdaten stark von der Art des Herstellungsprozesses…

CAD Tools for MEMS

Engineering, Innovation, R&D, Wissenschaft

UETP-MEMS Course Proceedings FSRM Neuchatel, Switzerland University Enterprise Training Partnership MEMS project with the support of the European Programme COMETT   Objectives UETP-MEMS course Modeling and numerical simulation of both the fabrication process and the operation of single devices and entire integrated systems are more and more necessary. Computer aided design (CAD) can reduce the…

Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik

CAE, Engineering, Innovation, PLM, Software

Fortbildungsseminar Dienstleistungszentrums Mikromechanik   Das Seminar gibt einen Überblick der vielfältigen Anwendungen der Finite-Elemente-Methode (FEM) in der Mikrotechnik. Anhand anwendungsorientierter Beispiele werden typische Problemstellungen aus dem Bereich der Sensorik und Aktorik behandelt.   Zielstellung Ziel ist es, die Stärken dieser Simulationsmethode aufzuzeigen und ein Gefühl für den notwendigen Aufwand, die wichtigsten beeinflussenden Parameter und die…

Dokumentation Mikrotechnik

CAE, Innovation, R&D, Wissenschaft

Dokumentation Mikrotechnik Ausgabe Nr. 9  – November 1992   Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. (HSG) Wilhelm-Schickard-Straße 10, Villingen-Schwenningen   Entwurf – Simulation – Resonatoren   Entwurf Bei der Realisierung von mikromechanischen Komponenten und Systemen, sind neben der für die Bauelementfunktion technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien auch die prozeß-technischen Randbedingungen wie z.B. Fertigungstoleranzen und…

Dynamical modeling of microsystems

CAE, Innovation, R&D, Wissenschaft

Dynamische Berechnungen in der Mikromechanik Simulation / Messung   Dipl.-Phys. Thomas Fabula Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik, VS-Villingen   Abstract Bei der Realisierung von mikromechanischen Systemen sind für die Bauelementfunktion die technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien und die prozeßtechnischen Randbedingungen bereits in der Entwurfsphase zu berücksichtigen. Reale mikromechanische Komponenten zeigen aufgrund der Miniaturisierung und des hohen…

Microsystems modeling

CAE, Deep Technology, Industrie, Innovation

Published in “Mikroelektronik Band 6 – Fachbeilage Mikroperipherik”. Main topic: “Modeling of components of microsystem technology” Issue: January / February 1992, Issue 1, p. II Author: Dipl.-Phys. Thomas Fabula (complete article version)   Finite Element Modeling in Micromechanics   Preamble In the scope of the modeling of micromechanical components, the finite element method plays an…

Modellierung Mikrosysteme

Engineering, Innovation, R&D, Wissenschaft

Erschienen in “Mikroelektronik Band 6 – Fachbeilage Mikroperipherik” Schwerpunktthema: “Modellierung von Komponenten der Mikrosystem­technik” Ausgabe: Januar / Februar 1992, Heft 1, S. II Autor: Dipl.-Phys. Thomas Fabula (vollständige Artikelfassung)   “Finite-Elemente Modellierung in der Mikromechanik”   Präambel Im Rahmen der Modellierung von mikromechanischen Komponenten nimmt die Methode der Finiten Elemente eine wichtige Rolle bei der…