Multiphysics-Simulation Strömungssensor

CAE, Industrie, R&D, Wissenschaft

11. CADFEM Users’ Meeting 27.-29. Oktober 1993 Bamberg   Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors   Thomas Fabula, Nicolaus Hey, Stephan Messner   Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. D-78052 Villingen-Schwenningen Wilhelm-Schickard-Straße 10 Abstract Im Rahmen eines vom BMFT geförderten Verbundprojektes wurden resonante mikromechanische Silizium-Balken­­­struk­turen mit elektro­ther­mischer Anregung und resistiver Abtastung…

Resonant silicon sensors with electrothermal excitation

Industrie, Innovation, Wissenschaft

Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metall-Dünnfilm-Technologie   H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss*   * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…

Sensoren mit elektrothermischer Anregung

Industrie, Innovation, R&D, Wissenschaft

Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie   H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss*   * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…

Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen

Innovation, R&D, Wissenschaft

Vortrag beim 3. Vibrometer-Seminar der Polytec GmbH in Waldbronn: Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen M. Freygang, T. Fabula   Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.  Villingen-Schwenningen.   Das Institut für Mikro- und Informationstechnik Das Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) in Villingen-Schwenningen hat als Zielsetzung durch Informations- und Technologietransfer kleinen und mittelständischen Unternehmen (KMU) mit…

Verbundforschung Mikrosystemtechnik

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&D, VDI, Wissenschaft

FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren   Villingen-Schwenningen 31. März 1993   Final report Application of micromechanics for the manufacturing of frequency-analogous sensors (FASENS) Abstract “The most important types of micromechanical resonance sensors are bulk acoustic wave sensors, surface acoustic wave sensors and flexural plate wave sensors. In this report technologies for the…

CAD Tools for MEMS

Engineering, Innovation, R&D, Wissenschaft

UETP-MEMS Course Proceedings FSRM Neuchatel, Switzerland University Enterprise Training Partnership MEMS project with the support of the European Programme COMETT   Objectives UETP-MEMS course Modeling and numerical simulation of both the fabrication process and the operation of single devices and entire integrated systems are more and more necessary. Computer aided design (CAD) can reduce the…

FE-Optimierung von Ultraschallwandlern

CAE, Engineering, Industrie, R&D

Fibronix Sensoren GmbH Kiel   Optimierung des PVDF-Topfdurchmessers Abgleich der Materialdaten von Silikon unter Berücksichtigung des hyper­elasti­schen Ma­te­rial­ver­haltens durch entsprechenden Finite-Elemente Ansatz Ermittlung der günstigsten Modellvernetzung unter Verwendung piezo­elektrischer und strukturmechanischer Elemente Validierung der erstellten FE-Modelle (2D bzw. 3D), sowie der ersten piezoelektrischen Test­rechungen und Vergleich mit optischen Laservibro­meter-Messungen (Amplitudenverteilung) und elektrischen Messungen (Impedanz- &…

Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik

CAE, Engineering, Innovation, PLM, Software

Fortbildungsseminar Dienstleistungszentrums Mikromechanik   Das Seminar gibt einen Überblick der vielfältigen Anwendungen der Finite-Elemente-Methode (FEM) in der Mikrotechnik. Anhand anwendungsorientierter Beispiele werden typische Problemstellungen aus dem Bereich der Sensorik und Aktorik behandelt.   Zielstellung Ziel ist es, die Stärken dieser Simulationsmethode aufzuzeigen und ein Gefühl für den notwendigen Aufwand, die wichtigsten beeinflussenden Parameter und die…

FE-Modellierung in der Mikromechanik

Engineering, R&D, Univ, Wissenschaft

Vortrag an der Technische Universität Dresden Fakultät Elektrotechnik Institut für Technische Akustik Barkhausenbau 2. Dezember 1992   Dipl.-Phys. Thomas Fabula Institut für Mikro- und Informationstechnik, Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., VS-Villingen, Wilhelm-Schickard-Straße 10   Abstract Beim Entwurf von mikromechanischen Bauelementen kommt der Simulation mit Hilfe der Finite-Element-Methode (FEM) eine wichtige Bedeutung zu, da sie bereits…

Dokumentation Mikrotechnik

CAE, Innovation, R&D, Wissenschaft

Dokumentation Mikrotechnik Ausgabe Nr. 9  – November 1992   Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. (HSG) Wilhelm-Schickard-Straße 10, Villingen-Schwenningen   Entwurf – Simulation – Resonatoren   Entwurf Bei der Realisierung von mikromechanischen Komponenten und Systemen, sind neben der für die Bauelementfunktion technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien auch die prozeß-technischen Randbedingungen wie z.B. Fertigungstoleranzen und…