Finite Element Programs

Finite Element Analysis vendors August 1994   Commercially available finite element codes for numerical analyses program company distributor / location ABAQUS ADINA ANSYS COSMOS/M I-DEAS MARC NASTRAN PERMAS Pro-Engineer PATRAN SYSTUS TPS10 HKS Adina R&D SASI SRAC SDRC MARC MSC INTES PTC PDA Framasys TSE Abacom GmbH / Aachen, FRG Watertown (MA) / USA CADFEM…

Mutliphysics-Simulation Strömungssensor

11. CADFEM Users’ Meeting 27.-29. Oktober 1993 Bamberg   Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors   Thomas Fabula, Nicolaus Hey, Stephan Messner   Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. D-78052 Villingen-Schwenningen Wilhelm-Schickard-Straße 10 Abstract Im Rahmen eines vom BMFT geförderten Verbundprojektes wurden resonante mikromechanische Silizium-Balken­­­struk­turen mit elektro­ther­mischer Anregung und resistiver Abtastung…

Verbundforschung Mikrosystemtechnik

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren   Villingen-Schwenningen 31. März 1993   Final report Application of micromechanics for the manufacturing of frequency-analogous sensors   Abstract “The most important types of micromechanical resonance sensors are bulk acoustic wave sensors, surface acoustic wave sensors and flexural plate wave sensors. In this report technologies for the preparation…

CAD Tools for MEMS

UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland University Enterprise Training Partnership MEMS project with the support of the European Programme COMETT   Objectives Modeling and numerical simulation of both the fabrication process and the operation of single devices and entire integrated systems are more and more necessary. Computer aided design (CAD) can reduce the number of…

FE-Optimierung von Ultraschallwandlern

Fibronix Sensoren GmbH Kiel   Optimierung des PVDF-Topfdurchmessers Abgleich der Materialdaten von Silikon unter Berücksichtigung des hyper­elasti­schen Ma­te­rial­ver­haltens durch entsprechenden Finite-Elemente Ansatz Ermittlung der günstigsten Modellvernetzung unter Verwendung piezo­elektrischer und strukturmechanischer Elemente Validierung der erstellten FE-Modelle (2D bzw. 3D), sowie der ersten piezoelektrischen Test­rechungen und Vergleich mit optischen Laservibro­meter-Messungen (Amplitudenverteilung) und elektrischen Messungen (Impedanz- &…

Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik

Fortbildungsseminar des Dienstleistungszentrums Mikromechanik   Das Seminar gibt einen Überblick der vielfältigen Anwendungen der Finite-Elemente-Methode (FEM) in der Mikrotechnik. Anhand anwendungsorientierter Beispiele werden typische Problemstellungen aus dem Bereich der Sensorik und Aktorik behandelt.   Ziel ist es, die Stärken dieser Simulationsmethode aufzuzeigen und ein gefühl für den notwendigen Aufwand, die wichtigsten beeinflussenden Parameter und die…

FE-Modellierung in der Mikromechanik

Vortrag an der Technische Universität Dresden, Fakultät Elektrotechnik, Institut für Technische Akustik – Barkhausenbau, 2. Dezember 1992   Dipl.-Phys. Thomas Fabula Institut für Mikro- und Informationstechnik, Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., VS-Villingen, Wilhelm-Schickard-Straße 10   Abstract Beim Entwurf von mikromechanischen Bauelementen kommt der Simulation mit Hilfe der Finite-Element-Methode (FEM) eine wichtige Bedeutung zu, da sie…

Dokumentation Mikrotechnik

Dokumentation Mikrotechnik Ausgabe Nr. 9  – November 1992   Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. (HSG) Wilhelm-Schickard-Straße 10, Villingen-Schwenningen   Entwurf – Simulation – Resonatoren  Bei der Realisierung von mikromechanischen Komponenten und Systemen, sind neben der für die Bauelementfunktion technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien auch die prozeßtechnischen Randbedingungen wie z.B. Fertigungstoleranzen und Schichteigenschaften bereits…

Dynamical modeling of microsystems

Dynamische Berechnungen in der Mikromechanik – Simulation / Messung   Th. Fabula, Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik, VS-Villingen.   Bei der Realisierung von mikromechanischen Systemen sind für die Bauelementfunktion die technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien und die prozeßtechnischen Randbedingungen bereits in der Entwurfsphase zu berücksichtigen. Reale mikromechanische Komponenten zeigen aufgrund der Miniaturisierung und des hohen Integrationsgrades…

Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen

Invited contribution at Industry-University-Workshop on   Numerical Modelling and Simulation of Sensors   Workshop-Programm Kapazitive Sensoren, Dipl.-Ing. J.G. Korvink Thermoelektrische Effekte in Halbleiter-Devices, Dipl.-Ing. K. Kells Magnetischer Flusskonzentrator für Hall Sensoren, Dr. M. Roos Vertical Hall Sensoren, Dr. J.F. Buergler Teilnehmerthema: Hahn-Schickard-Institut, VS-Villingen, Deutschland: Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen, Dipl.-Phys. Thomas Fabula HW/SW-Infrastruktur für Simulationen…