semiconductor

Multiphysics-Simulation Strömungssensor

CAE, Industrie, R&D, WissenschaftBy Dr. Thomas Fabula October 27, 1993

11. CADFEM Users’ Meeting 27.-29. Oktober 1993 Bamberg Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors Thomas Fabula, Nicolaus Hey, Stephan Messner Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. D-78052 Villingen-Schwenningen Wilhelm-Schickard-Straße 10 Abstract Im Rahmen eines vom BMFT geförderten Verbundprojektes wurden resonante mikromechanische Silizium-Balkenstrukturen mit elektrothermischer Anregung und resistiver Abtastung…

Resonant silicon sensors with electrothermal excitation

Industrie, Innovation, WissenschaftBy Dr. Thomas Fabula October 14, 1993

Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metall-Dünnfilm-Technologie H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss* * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…

Sensoren mit elektrothermischer Anregung

Industrie, Innovation, R&D, WissenschaftBy Dr. Thomas Fabula October 11, 1993

Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie H. Bartuch*, S. Büttgenbach**, Th. Fabula***, H. Weiss* * Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Richthofenstraße 3, D-78048 VS-Villingen ** Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig *** Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,…

Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen

Innovation, R&D, WissenschaftBy Dr. Thomas Fabula June 14, 1993

Vortrag beim 3. Vibrometer-Seminar der Polytec GmbH in Waldbronn: Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen M. Freygang, T. Fabula Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. Villingen-Schwenningen. Das Institut für Mikro- und Informationstechnik Das Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) in Villingen-Schwenningen hat als Zielsetzung durch Informations- und Technologietransfer kleinen und mittelständischen Unternehmen (KMU) mit…

Verbundforschung frequenzanaloge Sensoren

Deep Technology, R&D, WissenschaftBy Dr. Thomas Fabula April 2, 1993

FASENS Verbundforschung am IMIT Die Ergebnisse eines ersten umfangreichen Projektes, dass vom Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) in Villingen-Schwenningen in Kooperation mit vier Industriefirmen bearbeitet wurde, konnten am 31. März 1993 der Öffentlichkeit vorgestellt werden. Abschluss BMFT-Projekt Nicht nur von den Beteiligten wurde dieses Verbundprojekt als großer Erfolg gewertet: das unerwartet große…

MotoMeter – Frequenzanaloge Quarz-Drucksensoren

Automotive, Deep Technology, Industrie, R&DBy Dr. Thomas Fabula April 1, 1993

Abschlusspräsentation MotoMeter Resonante Quarz-Drucksensoren Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” Dr.-Ing. Stefan Dagenbach, Werner Hartig, MotoMeter GmbH, Leonberg Zusammenfassung Die vorteilhaften Eigenschaften von Quarz wie hervorragende Elastizität, sehr gute Langzeitstabilität, chemische Resistenz und vor allem sein piezoelektrisches Verhalten ermöglichen im Batch-Prozeß die kostengünstige Herstellung von Sensoren. Die Anzahl der notwendigen Prozeßschritte…

Si-Kraftsensoren mit piezoelektrischem Antrieb

Deep Technology, Innovation, R&D, WissenschaftBy Dr. Thomas Fabula April 1, 1993

FASENS Mehrfachbalken-Resonatoren Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Dipl.-Phys. Hans-Joachim Wagner, Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. (HSG-IMIT) Abschlussbericht Frequenz-analoge Kraftsensoren (FASENS) in Silizium mit quasi-digitalem Frequenzausgang werden vorgestellt. Der Kraft empfindliche Resonator wird durch eine membranartige Dreifachbalkenstruktur (Dicke = 25 µm) realisiert. Die Anregung der Resonanzschwingungen des im antisymmetrischen Grundmode (äußere Balken gegenphasig zum inneren…

BOSCH – Frequenzanaloge Sensoren

Deep Technology, Innovation, R&D, WissenschaftBy Dr. Thomas Fabula April 1, 1993

FASENS Abschlussbericht Robert Bosch GmbH Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Im Rahmen des BMFT-Verbundprojekts: “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” wurden bei BOSCH die Grundlagen frequenzanaloger Druck- und Kraft-Sensoren in Silicium mit Fremdanregung durch piezo-elektrisches Zinkoxid erarbeitet. Die Integration des piezoelektrischen Materials in mikroskopisches Verfahrensabläufe wurde erreicht und geeignete Batch-Prozesse entwickelt, die in der…

BIZERBA – Sensoren für Wägetechnik

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&DBy Dr. Thomas Fabula April 1, 1993

FASENS Abschlussbericht Bizerba Werke Anwendungen frequenz-analoger Kraft-Sensoren in der Wägetechnik Kurzfassung des Vortrags anlässlich der Abschlusspräsentation des Projektes “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” im Rahmen des BMFT-Förderschwerpunkts Mikrosystemtechnik. Dr.-Ing. Klaus Peter Selig, Dipl.-Phys. Dieter Fischle, Bizerba Werke Balingen, 1993 Zusammenfassung Die heute bekannten Methoden der Mikromechanik gestatten die Herstellung von…

GMS – Resonante Silizium Sensoren