FEM-Simulationsrechnungen an Mikrostrukturen Posterdarstellung Micro System Technologies 90 1st International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components ICC Berlin 10.-13. September 1990 Abstract “On September 10-13, 1990, the first international meeting on Microsystem Technologies takes place at the Berlin International Congress Center. Most of the traditional congresses deal with themes that…
FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren BIZERBA-Werke Wilhelm-Kraut GmbH & Co. KG, Balingen 4. Juli 1990 Dynamische FEM-Rechnungen Modalanalyse Kraft-Frequenz-Kennlinie resonante Anregung Untersuchungen an Doppelstimmgabeln Strukturoptimierung (statisch, dynamisch) parametrisierte DETF (Double-Ended Tuning-Fork) Antwortspektrum infolge harmonischer Anregung Alternative Sensorstrukturen ‘Single-Beam’ Strukturen ‘Multistring’-Anordnungen Resonante Sensoren Ein resonanter Sensor wird charakterisiert durch: mechanische…
FASENS Dynamische FEM-Rechnungen resonanter Quarz-Kraftsensoren BMFT-Projekt Statusbesprechung Robert Bosch GmbH Gerlingen-Schillerhöhe Zentrale Forschung ZWD 17. Januar 1990 Gesamtziel des Vorhabens ist die Erarbeitung der Technologie zur Herstellung miniaturisierter Sensoren mit frequenz-analogem Ausgangssignal auf der Basis mechanischer Resonatoren aus Quarz und Silizium. Als konkretes Entwicklungsziel des Vorhabens sollen Kraftsensoren auf Silizium-Basis mit ZnO-Dünnschichten, Kraftsensoren…
Physik in der Mikroelektronik DPG-Schule für Physik 25.-29. September 1989 Physikzentrum Bad Honnef Kurs IV “Der Kurs IV der DPG-Schule für Physik fand vom 24. bis zum 28.09.1989 im Physikzentrum Bad Honnef statt und hatte die ,Physik in der Mikroelektronik´ zum Gegenstand. Ziel der Veranstaltung war es, das breite Spektrum zwischen Grundlagenforschung und…