FE-Berechnungen an Quarz-Strukturen

FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren   BIZERBA-Werke Wilhelm-Kraut GmbH & Co. KG, Balingen 4. Juli 1990   Dynamische FEM-Rechnungen Modalanalyse Kraft-Frequenz-Kennlinie resonante Anregung Untersuchungen an Doppelstimmgabeln Strukturoptimierung (statisch, dynamisch) parametrisierte DETF (Double-Ended Tuning-Fork) Antwortspektrum infolge harmonischer Anregung   Alternative Sensorstrukturen ‘Single-Beam’ Strukturen ‘Multistring’-Anordnungen Resonante Sensoren Ein resonanter Sensor wird charakterisiert durch:  mechanische…

ANSYS Research Associate

ANSYS Research-Associate-Vertrag Allgemeines Berichtszeitraum: 1. Halbjahr 1990 Lizenznehmer: Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik Programmversion: ANSYS 4.4 Rechnerplattform: Digital DECstation 3100 IT-Umfeld Das FEM-Programmsystem ANSYS wird neben einer Universitätslizenz auf PC386-Rechnerbasis als Workstation-Version zur Berechnung kom­plexer FE-Modelle eingesetzt. Die etwa 6-10 fache Geschwin­digkeitssteigerung und der erhöhte Wavefront-Umfang (z.Zt. 4000 bei 130 MB ULTRIX-Swapspace und 16 MB Arbeitsspeicher)…

Berechnung von Quarz-Kraftsensoren

FASENS Dynamische FEM-Rechnungen resonanter Quarz-Kraftsensoren BMFT-Projekt Statusbesprechung   Robert Bosch GmbH Gerlingen-Schillerhöhe Zentrale Forschung ZWD 17. Januar 1990   Gesamtziel des Vorhabens ist die Erarbeitung der Technologie zur Herstellung miniaturisierter Sensoren mit frequenz-analogem Ausgangssignal auf der Basis mechanischer Resonatoren aus Quarz und Silizium. Als konkretes Entwicklungsziel des Vorhabens sollen Kraftsensoren auf Silizium-Basis mit ZnO-Dünnschichten, Kraftsensoren…

Finite-Element System ANSYS

FEM-Programmpaket ANSYS Meeting mit Priv.-Doz. Dr.rer.nat. Büttgenbach FFMU – Forschungsgesellschaft für Feingeräte-, Uhren- und Mikrotechnik e.V. Villingen-Schwenningen     Summary The ANSYS FEM program is ideally suited for use in FEM applications in microtechnology. We will discuss the performance criteria for FEM programs and the special requirements of micromechanics. An overview of FEM programs will…