Plasma-CVD Schichten für Siliziumätzen

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&D

FASENS Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Statusbericht Gebrüder STAIGER GmbH, Sankt Georgen Februar 1990   Gesamtziel des Vorhabens ist die Erarbeitung der Technologie zur Herstellung miniaturisierter Sensoren mit frequenz-analogem Ausgangssignal auf der Basis mechanischer Resonatoren aus Quarz und Silizium. Als konkretes Entwicklungsziel des Vorhabens sollen Kraftsensoren auf Silizium-Basis mit ZnO-Dünnschichten, Kraftsensoren für den…

ANSYS Users Meeting

CAE, Industrie, Innovation

Finite Element Method User´s Meeting 1989   Venue In 1989, Swanson Analysis Systems, Inc. (SASI) – the original name of ANSYS – hosted the 1989 ANSYS Conference and Exhibition in Pittsburgh, Pennsylvania. In the same year ANSYS users from across Europe gathered also at the Hotel Jakobsberg near Koblenz. This conference served as an important meeting place for ANSYS…