Berechnung von Quarz-Kraftsensoren

Automotive, CAE, Engineering, R&D, Wissenschaft

FASENS Dynamische FEM-Rechnungen resonanter Quarz-Kraftsensoren BMFT-Projekt Statusbesprechung   Robert Bosch GmbH Gerlingen-Schillerhöhe Zentrale Forschung ZWD 17. Januar 1990   Gesamtziel des Vorhabens ist die Erarbeitung der Technologie zur Herstellung miniaturisierter Sensoren mit frequenz-analogem Ausgangssignal auf der Basis mechanischer Resonatoren aus Quarz und Silizium. Als konkretes Entwicklungsziel des Vorhabens sollen Kraftsensoren auf Silizium-Basis mit ZnO-Dünnschichten, Kraftsensoren…

Finite-Element System ANSYS

Engineering, Industrie, R&D, Software, Wissenschaft

FEM-Programmpaket ANSYS Meeting mit Priv.-Doz. Dr.rer.nat. Büttgenbach FFMU – Forschungsgesellschaft für Feingeräte-, Uhren- und Mikrotechnik e.V. Villingen-Schwenningen     Summary The ANSYS FEM program is ideally suited for use in FEM applications in microtechnology. We will discuss the performance criteria for FEM programs and the special requirements of micromechanics. An overview of FEM programs will…