Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik
Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik Dipl.-Phys. Thomas Fabula Fortbildungsseminar “Technologien zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente” Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik Villingen-Schwenningen 17.-18. November 1991 Abstract Das Seminar gibt einen detaillierten Überblick über die Technologien, die bei der Herstellung mikromechanischer Bauelemente Verwendung finden und zeigt darüber hinaus einige exemplarische Anwendungsmöglichkeiten im Hinblick…