MotoMeter – Frequenzanaloge Quarz-Drucksensoren

Automotive, Deep Technology, Industrie, R&D

MotoMeter Abschlusspräsentation   Resonante Quarz-Drucksensoren Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren”  Dr.-Ing. Stefan Dagenbach, Werner Hartig,  MotoMeter GmbH, Leonberg   Zusammenfassung Die vorteilhaften Eigenschaften von Quarz wie hervorragende Elastizität, sehr gute Langzeitstabilität, chemische Resistenz und vor allem sein piezoelektrisches Verhalten ermöglichen im Batch-Prozeß die kostengünstige Herstellung von Sensoren. Die Anzahl der notwendigen Prozeßschritte…

Si-Kraftsensoren mit piezoelektrischem Antrieb

Deep Technology, Innovation, R&D, Wissenschaft

Silizium Mehrfachbalken-Resonatoren   Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Dipl.-Phys. Hans-Joachim Wagner, Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. (HSG-IMIT)   Abschlussbericht Frequenz-analoge Kraftsensoren in Silizium mit quasi-digitalem Frequenzausgang werden vorgestellt. Der Kraft empfindliche Resonator wird durch eine membranartige Dreifachbalkenstruktur (Dicke = 25 µm) realisiert. Die Anregung der Resonanzschwingungen des im antisymmetrischen Grundmode (äußere Balken gegenphasig zum inneren Balken)…

BOSCH – Frequenzanaloge Sensoren

Deep Technology, Innovation, R&D, Wissenschaft

Robert Bosch GmbH Abschlussbericht   Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Im Rahmen des BMFT-Verbundprojekts: “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” wurden bei BOSCH die Grundlagen frequenzanaloger Druck- und Kraft-Sensoren in Silicium mit Fremdanregung durch piezo-elektrisches Zinkoxid erarbeitet. Die Integration des piezoelektrischen Materials in mikroskopisches  Verfahrensabläufe wurde erreicht und geeignete Batch-Prozesse entwickelt, die in der Folge…

BIZERBA – Sensoren für Wägetechnik

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&D

Bizerba Werke Abschlussbericht   Anwendungen frequenz-analoger Kraft-Sensoren in der Wägetechnik Kurzfassung des Vortrags anlässlich der Abschlusspräsentation des Projektes “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” im Rahmen des BMFT-Förderschwerpunkts Mikrosystemtechnik. Dr.-Ing. Klaus Peter Selig, Dipl.-Phys. Dieter Fischle, Bizerba Werke Balingen, 1993     Zusammenfassung Die heute bekannten Methoden der Mikromechanik gestatten die Herstellung von Resonatoren,…

GMS – Resonante Silizium Sensoren

Deep Technology, Industrie, Innovation, R&D

GMS GmbH Abschlusspräsentation   Resonante Silizium-Sensoren mit elektrothermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren”  Dr. Herbert Bartuch, GMS – Gesellschaft für Mikrotechnik und Sensorik mbH, Industriestraße 7, St. Georgen   Zusammenfassung Es wurden Silizium-Balken (Dicke: ca. 50 μm, Breite: 1 mm) unterschiedlicher Länge (3 – 10 mm) mittels…

Piezoelectric Micro-Actuators

Deep Technology, Engineering, Innovation, R&D

Antrieb von Aktoren durch piezoelektrische Dünnschichten Dipl.-Phys. Th. Fabula Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. Februar 1993   Piezoelektrische Dünnschicht-Materialien Für die Abschätzung der Leistungsfähigkeit des piezoelektrischen Antriebs werden die Materialien Aluminiumnitrid (AlN), Zinkoxid (ZnO) und PZT-Keramiken (PZT) zugrunde gelegt, die auch als Dünnschichten hergestellt werden können. Da die Materialdaten stark von der Art des Herstellungsprozesses…

Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik

CAE, Engineering, Innovation, PLM, Software

Fortbildungsseminar des Dienstleistungszentrums Mikromechanik   Das Seminar gibt einen Überblick der vielfältigen Anwendungen der Finite-Elemente-Methode (FEM) in der Mikrotechnik. Anhand anwendungsorientierter Beispiele werden typische Problemstellungen aus dem Bereich der Sensorik und Aktorik behandelt.   Zielstellung Ziel ist es, die Stärken dieser Simulationsmethode aufzuzeigen und ein Gefühl für den notwendigen Aufwand, die wichtigsten beeinflussenden Parameter und…

FE-Modellierung in der Mikromechanik

Engineering, R&D, Univ, Wissenschaft

Vortrag an der Technische Universität Dresden Fakultät Elektrotechnik Institut für Technische Akustik Barkhausenbau 2. Dezember 1992   Dipl.-Phys. Thomas Fabula Institut für Mikro- und Informationstechnik, Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., VS-Villingen, Wilhelm-Schickard-Straße 10   Abstract Beim Entwurf von mikromechanischen Bauelementen kommt der Simulation mit Hilfe der Finite-Element-Methode (FEM) eine wichtige Bedeutung zu, da sie bereits…

Dokumentation Mikrotechnik

CAE, Innovation, R&D, Wissenschaft

Dokumentation Mikrotechnik Ausgabe Nr. 9  – November 1992   Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. (HSG) Wilhelm-Schickard-Straße 10, Villingen-Schwenningen   Entwurf – Simulation – Resonatoren   Entwurf Bei der Realisierung von mikromechanischen Komponenten und Systemen, sind neben der für die Bauelementfunktion technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien auch die prozeß-technischen Randbedingungen wie z.B. Fertigungstoleranzen und…

Simulation mikromechanischer Membranen

CAE, Engineering, R&D

Simulation des dynamischen Verhaltens mikromechanischer Membranen Th. Fabula, A. Schroth   Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. Wilhelm-Schickard-Straße 10, Villingen-Schwenningen   Zusammenfassung Mit Hilfe des Finite-Elemente-Programms ANSYS wird eine analytische Beziehung für die Eigenfrequenzänderung quadratischer Siliziummembranen in Abhängigkeit vom beaufschlagten Druck abgeleitet. Dazu werden die Einzelzusammenhänge Membranmitten-Auslenkung – Druck und…