FE-Modellierung in der Mikromechanik
Vortrag an der Technische Universität Dresden Fakultät Elektrotechnik Institut für Technische Akustik Barkhausenbau 2. Dezember 1992 Dipl.-Phys. Thomas Fabula Institut für Mikro- und Informationstechnik, Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., VS-Villingen, Wilhelm-Schickard-Straße 10 Abstract Beim Entwurf von mikromechanischen Bauelementen kommt der Simulation mit Hilfe der Finite-Element-Methode (FEM) eine wichtige Bedeutung zu, da sie bereits…