Laser physics and MEMS applications

Physics and microsystems technology Looking back and ´conecting the dots´, we can state that the high-tech research fields such as laser physics and the highly integrated microsystems technology (MEMS), combined with the scientific mindset of the physicist, ensure successful work in the Deep Tech segment to develop sophisticated innovative solutions together with our clients.  …

Silicon BOD-structures

Monolithic bridge-on-diaphragm microstructures   Abstract Monolithic bridge-on-diaphragm (BOD) microstructures for sensor applications were fabricated by means of laser machining and anisotropic etching techniques. The pressure-frequency-characteristic was measured by acoustical excitation of the microbridge to resonant vibrations and optical detection of the resonance frequency. In the pressure range between 0.8 bar and +1.0 bar the pressure-frequency-characteristic is…

Monolithic BOD-structure

Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications     Authors H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt Journal Microsystem Technologies, vol. 1, no. 4, pp. 191-195, 1995 Microsystem Technologies – Volume 1, Issue 4 , pp 191-195 Abstract Monolithically clamped bridge-on-diaphragm (BOD) structures for pressure sensor applications were fabricated by means of Nd: YAG-laser micromachining and anisotropic…

Micro System Technologies 94

Herbert Reichl & Anton Heuberger (Herausgeber):   Micro System Technologies ’94. 4th International Conference, Berlin 1994   Contribution Monolithic Bridge-on-Diaphragm Microstructures for Sensor-Applications. Authors A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt, H.-J. Wagner Laser system setup Simulation results Experimental measurements Further information https://link.springer.com/journal/542/volumes-and-issues/1-1   Monolithic Bridge-on-Diaphragm Microstructures Silicon BOD-structures Monolithic BOD-structure

MEMS Patent

MEMS patent Monolithically integrated semiconductor element, use thereof and method for producing such a semiconductor element   Invention DE4332653 (C1) Monolithisch integriertes Halbleiterelement, dessen Verwendung sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterelements Germany DE4332653, September 1994 Inventors Erfinder ALAVI, Mani – Dipl.-Ing. Dr.rer.nat. [DE]; FABULA, Thomas – Dipl.-Phys. [DE]; SCHUMACHER, Axel – Dipl.-Phys. [DE]; WAGNER, Hans-Joachim – Dipl.-Phys. [DE]  …

Experimentelle Verifikation

Verifikation durch experimentelle Messtechniken   Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen Schwingungsmessung in der Mikrosystemtechnik In dem BMFT-Verbundprojekt Frequenzanaloge Sensoren wurden vielfältige optische Schwingungsmessungen an mikromechanischen Druck-, Kraft- und Strömungssensoren durchgeführt. Diese Sensoren bestehen in der Regel aus schwingungsfähigen Balken- oder Membranstrukturen, die elektrothermisch oder mit Hilfe von piezoelektrischen Dünnschichten (z.B. ZnO, AlN) zum Schwingen angeregt werden. Durch…

Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen

Vortrag beim 3. Vibrometer-Seminar der Polytec GmbH in Waldbronn: Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen M. Freygang, T. Fabula   Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.  Villingen-Schwenningen.   Das Institut für Mikro- und Informationstechnik Das Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) in Villingen-Schwenningen hat als Zielsetzung durch Informations- und Technologietransfer kleinen und mittelständischen Unternehmen (KMU) mit…

Real-time data acquisition system

Real-time data acquisition system for laser and radio frequency spectroscopy T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula and W. Rupprecht Journal of Physics E: Scientific Instruments, Volume 21, Number 12 Abstract A low-cost real-time data acquisition system utilising a master (PC-XT) and a slave (Z80) computer for high-resolution atomic spectroscopy is described. The master and the slave computer are linked by a…

Rechner-gesteuerte Spektroskopie

Real-time Data Acquisition System   Echtzeit Messwert-Erfassungs-System auf IBM PC-Hostcomputer und ECB-Subcomputer Basis zum Einsatz in der Laser- und Hochfrequenz-Spektroskopie zur experimentellen Vermessung von Hyperfeinstrukturen (HfS), d.h. die Energieaufspaltung in den Spektrallinien der Atomspektren.    Diplomarbeit Thomas Fabula Institut für Angewandte Physik der Universität Bonn   Zusammenfassung “Im Rahmen dieser Diplomarbeit wurde ein Meßwerterfassungssystem (MES) für den…

Echtzeit-Meßwerterfassung

Echtzeit-Meßwerterfassungssystem für die Hochfrequenz- und Laserspektroskopie Th. Fabula, S. Büttgenbach*, T. Brenner, W. Rupprecht Institut für Angewandte Physik der Universität Bonn *Forschungsinstitut der Forschungsgesellschaft für Feingeräte-, Mikro- und Uhrentechnik (FFMU), Stuttgart   Setup Auf der Basis eines handelsüblichen PC-XT kompatiblen Rechners wurde ein leistungsfähiges, in ‘Echtzeit‘ arbeitendes Zwei-Prozessor-Rechnersystem aufgebaut. Die Entlastung des Hostcomputers (PC) von…