Micro System Technologies 94

Deep Technology, Industrie, R&D

Herbert Reichl & Anton Heuberger (Herausgeber):   Micro System Technologies ’94. 4th International Conference, Berlin 1994   Contribution Monolithic Bridge-on-Diaphragm Microstructures for Sensor-Applications. Authors A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt, H.-J. Wagner Laser system setup Simulation results Experimental measurements Further information https://link.springer.com/journal/542/volumes-and-issues/1-1   Monolithic Bridge-on-Diaphragm Microstructures Silicon BOD-structures Monolithic BOD-structure

UETP-MEMS Course – Resonant microsensors

Deep Technology, R&D, Wissenschaft

MEMS and resonant sensors   UETP-MEMS Course: Resonant microsensors Thomas Fabula, Hans-Joachim Wagner, Institute of Microstructure and Information Technology (IMIT), Villingen-Schwenningen, Germany Albert Prak, MESA Research Institute, University of Twente, Enschede, The Netherlands Introduction to MEMS and resonant sensors 1.1 Micro-electro-mechanical-systems The capability of microelectronics has been increased about more than thirty years concerning geometrical size,…

COMETT-Course Resonant Microsensors

Deep Technology, Engineering, Innovation, R&D, Wissenschaft

UETP-MEMS Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Switzerland Resonant Microsensors University Enterprise Training Partnership project   Objectives Resonant structures are one of the mostly used techniques in sensor applications. High accuracy and cost effective signal processing are the key features of resonant sensors. By the end of the course, the participants will have a greater understanding of…

Innovative sensor design

Deep Technology, Innovation, R&D, Wissenschaft

Triple-Beam Resonant Silicon Force Sensor Based on Piezoelectric Thin Films   Authors Th. Fabula, H.-J. Wagner, B. Schmidt Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Wilhelm-Schickard-Strasse 10, D-78052 Villingen-Schwenningen, Germany S. Büttgenbach Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Langer Kamp 8, D-38106 Braunschweig, Germany   Journal Sensors and Actuators A:…

Beulverhalten mikromechanischer Bauelemente

Deep Technology, Engineering, R&D

Dokumentation Mikrotechnik The “Dokumentation Mikrotechnik” contains abstracts and reviews of important papers from microtechnology and scientific literature. This monthly literature service is published by the Microsystems Engineering Service Unit of the HSG-IMIT. Here are some examples of interesting articles on the mechanical buckling behavior of micromechanical beam structures.   Geijselaers 1991 Das thermische Verhalten eines…

Experimentelle Verifikation

Deep Technology, Engineering, Innovation, Wissenschaft

Verifikation durch experimentelle Messtechniken   Schwingungsmessung an mikromechanischen Bauelementen Schwingungsmessung in der Mikrosystemtechnik In dem BMFT-Verbundprojekt Frequenzanaloge Sensoren (FASENS) wurden vielfältige optische Schwingungsmessungen an mikromechanischen Druck-, Kraft- und Strömungssensoren durchgeführt. Diese Sensoren bestehen in der Regel aus schwingungsfähigen Balken- oder Membranstrukturen, die elektrothermisch oder mit Hilfe von piezoelektrischen Dünnschichten (z.B. ZnO, AlN) zum Schwingen angeregt werden.…

Verbundforschung frequenzanaloge Sensoren

Deep Technology, R&D, Wissenschaft

Verbundforschung am HSG-IMIT   Die Ergebnisse eines ersten umfangreichen Projektes, dass vom Institut für Mikro- und Informationstechnik (IMIT) in Villingen-Schwenningen in Kooperation mit vier Industriefirmen bearbeitet wurde, konnten am 31. März 1993 der Öffentlichkeit vorgestellt werden.   Abschluss BMFT-Projekt Nicht nur von den Beteiligten wurde dieses Verbundprojekt als großer Erfolg gewertet: das unerwartet große Interesse…

MotoMeter – Frequenzanaloge Quarz-Drucksensoren

Automotive, Deep Technology, Industrie, R&D

MotoMeter Abschlusspräsentation   Resonante Quarz-Drucksensoren Abschlusspräsentation “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren”  Dr.-Ing. Stefan Dagenbach, Werner Hartig,  MotoMeter GmbH, Leonberg   Zusammenfassung Die vorteilhaften Eigenschaften von Quarz wie hervorragende Elastizität, sehr gute Langzeitstabilität, chemische Resistenz und vor allem sein piezoelektrisches Verhalten ermöglichen im Batch-Prozeß die kostengünstige Herstellung von Sensoren. Die Anzahl der notwendigen Prozeßschritte…

Si-Kraftsensoren mit piezoelektrischem Antrieb

Deep Technology, Innovation, R&D, Wissenschaft

Silizium Mehrfachbalken-Resonatoren   Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Dipl.-Phys. Hans-Joachim Wagner, Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. (HSG-IMIT)   Abschlussbericht Frequenz-analoge Kraftsensoren in Silizium mit quasi-digitalem Frequenzausgang werden vorgestellt. Der Kraft empfindliche Resonator wird durch eine membranartige Dreifachbalkenstruktur (Dicke = 25 µm) realisiert. Die Anregung der Resonanzschwingungen des im antisymmetrischen Grundmode (äußere Balken gegenphasig zum inneren Balken)…

BOSCH – Frequenzanaloge Sensoren

Deep Technology, Innovation, R&D, Wissenschaft

Robert Bosch GmbH Abschlussbericht   Zusammenfassung BMFT-Projekt „frequenzanaloge Sensoren“ Im Rahmen des BMFT-Verbundprojekts: “Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenz-analoger Sensoren” wurden bei BOSCH die Grundlagen frequenzanaloger Druck- und Kraft-Sensoren in Silicium mit Fremdanregung durch piezo-elektrisches Zinkoxid erarbeitet. Die Integration des piezoelektrischen Materials in mikroskopisches  Verfahrensabläufe wurde erreicht und geeignete Batch-Prozesse entwickelt, die in der Folge…