Dynamical modeling of microsystems

Dynamische Berechnungen in der Mikromechanik – Simulation / Messung   Th. Fabula, Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik, VS-Villingen.   Bei der Realisierung von mikromechanischen Systemen sind für die Bauelementfunktion die technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien und die prozeßtechnischen Randbedingungen bereits in der Entwurfsphase zu berücksichtigen. Reale mikromechanische Komponenten zeigen aufgrund der Miniaturisierung und des hohen Integrationsgrades…

Simulation mikromechanischer Membranen

Simulation des dynamischen Verhaltens mikromechanischer Membranen Th. Fabula, A. Schroth   Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. Wilhelm-Schickard-Straße 10 Villingen-Schwenningen   Zusammenfassung Mit Hilfe des Finite-Elemente-Programms ANSYS wird eine analytische Beziehung für die Eigenfrequenzänderung quadratischer Siliziummembranen in Abhängigkeit vom beaufschlagten Druck abgeleitet. Dazu werden die Einzelzusammenhänge Membranmittenauslenkung – Druck…

Methode der Finiten Elemente

Finite-Elemente-Methode   Die Finite-Elemente-Methode (FEM) hat sich in den Ingenieurswissenschaften wegen ihrer universellen Anwendbarkeit auf beliebig geformte Strukturen insbesondere auf dem Gebiet der Elastomechanik gegenüber anderen numerischen Berechnungsverfahren, z.B. der Finite-Differenzen-Methode (FDM) durchgesetzt. Aufgrund der allgemeinen mathematischen Formulierung der FE-Methode auf der Grundlage von Variationsprinzipien lässt sie sich auch zur Lösung von verschiedenen physikalischen Feldproblemen…

FEM-Simulationsrechnungen an Mikrostrukturen   Posterdarstellung Micro System Technologies 90 1st International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components ICC Berlin 10.-13. September 1990     “On September 10-13, 1990, the first international meeting on Microsystem Technologies takes place at the Berlin International Congress Center. Most of the traditional congresses deal with themes that…

Echtzeit-Datenanalyse

Aufbau und Entwicklung eines PC-Meßwerterfassungssystems für die Hochfrequenz- und Laserspektroskopie Diplomarbeit Thomas Fabula Bonn 1987 ausgeführt am Institut für Angewandte Physik der Rheinischen Friedrich-Wilhelms-Universität Bonn   Zusammenfassung Im Rahmen der Diplomarbeit wurde ein leistungsfähiges Echtzeit-Meßwerterfassungssystem für den Einsatz in der Hochfrequenz- und Laserspek­troskopie entwickelt. Es wurde ein Zwei-Prozessor-Rechnersystem auf der Basis eines IBM PC-XT kompatiblen…