Methode der finiten Elemente Die Finite-Elemente-Methode (FEM) hat sich in den Ingenieurswissenschaften wegen ihrer universellen Anwendbarkeit auf beliebig geformte Strukturen insbesondere auf dem Gebiet der Elastomechanik gegenüber anderen numerischen Berechnungsverfahren, z.B. der Finite-Differenzen-Methode (FDM) durchgesetzt. Aufgrund der allgemeinen mathematischen Formulierung der FE-Methode auf der Grundlage von Variationsprinzipien lässt sie sich auch zur Lösung…
Promotion Anhang Experimenteller Aufbau Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurden experimentelle Meßaufbauten zur meßtechnischen Charakterisierung des statischen und dynamischen Verhaltens mikromechanischer Strukturen konzipiert und aufgebaut. Um den Entwicklungsprozeß mikromechanisch gefertigter Mikroresonatoren im Rahmen des BMFT-Verbundprojektes auch meßtechnisch unterstützen zu können, mußten insbesondere neben den passiven Eigenschaften (Resonanzfrequenz, Amplituden, Schwingungsgüten) der Mikroresonatoren aus Silizium, die Sensoreffekte…
Dissertation Schlussbetrachtung Die Anforderungen an den Entwurf bei der Entwicklung von mikromechanischen Bauelementen bedingen den Einsatz rechnergestützter, numerischer Berechnungsmethoden, um sich überlagernde nichtlineare Effekte, anisotrope Materialeigenschaften und die elektro-thermo-mechanischen Wechselwirkungen bei Mehrschichtsystemen beschreiben zu können. So kann beispielsweise die Optimierung mikromechanischer Resonanzsensoren nur unter gleichzeitiger Betrachtung der statischen und dynamischen Eigenschaften unter Berücksichtigung des physikalischen…
Dissertation in Physik ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen – Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation Doctoral certificate Retrospective PhD-Thesis GitHub repositories github.com/ThomasFabula/PhD github.com/ThomasFabula/PhD_LaTeX
Dissertation in Physik ausgeführt am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. zum Thema: Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstützung und deren meßtechnische Verifikation Zusammenfassung Im Rahmen dieser Arbeit wurde mit numerischen und experimentellen Methoden das statische und dynamische Verhalten mikromechanischer Strukturen untersucht. Da analytische Verfahren in der Regel…