Piezoelectric Micro-Actuators

Antrieb von Aktoren durch piezoelektrische Dünnschichten Dipl.-Phys. Th. Fabula, Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e.V. Februar 1993   Piezoelektrische Dünnschicht-Materialien Für die Abschätzung der Leistungsfähigkeit des piezoelektrischen Antriebs werden die Materialien Aluminiumnitrid (AlN), Zinkoxid (ZnO) und PZT-Keramiken (PZT) zugrunde gelegt, die auch als Dünnschichten hergestellt werden können. Da die Materialdaten stark von der Art des Herstellungsprozesses…

Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik

Fortbildungsseminar des Dienstleistungszentrums Mikromechanik   Das Seminar gibt einen Überblick der vielfältigen Anwendungen der Finite-Elemente-Methode (FEM) in der Mikrotechnik. Anhand anwendungsorientierter Beispiele werden typische Problemstellungen aus dem Bereich der Sensorik und Aktorik behandelt.   Zielstellung Ziel ist es, die Stärken dieser Simulationsmethode aufzuzeigen und ein Gefühl für den notwendigen Aufwand, die wichtigsten beeinflussenden Parameter und…