Published in “Mikroelektronik Band 6 – Fachbeilage Mikroperipherik”. Main topic: “Modeling of components of microsystem technology” Issue: January / February 1992, Issue 1, p. II Author: Dipl.-Phys. Thomas Fabula (complete article version) Finite Element Modeling in Micromechanics Preamble In the scope of the modeling of micromechanical components, the finite element method plays an…
FEM-Berechnungen zur Auslegung von Druckwandlern mit Metall-DMS-Folien Entwurfsvorgaben Analytische, nicht-lineare Auslegung der Druckwandler Modellierung und FEM-Berechnung der verschiedenen Druckwandler Variation von Geometrieparametern und Optimierung des FE-Modells Simulation und Optimierung von Druckwandlern für verschiedene Nenndruckbereiche Berücksichtigung des DMS-Layouts: Berechnung der zu erwartenden Widerstandsänderung ΔR/R Randbedingungen bei der Auslegung der Druckwandler Eine maximale Empfindlichkeit ε…