FEM-Simulation in Feinwerk- und Mikrotechnik

Fachtagung: Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, FH München   Optimierung resonanter mikromechanischer Sensoren für mechanische Größen   Der Vortrag geht auf die numerische und experimentelle Untersuchung des statischen und dynamischen Verhaltens resonanter Mikrosensoren ein. Den Schwerpunkt bildet die Simulation frequenzanaloger Druck- und Kraftsensoren auf der Basis resonanter, mikromechanischer Silizium-Bimorphstrukturen, sowie die Charakterisierung…