Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik

Fortbildungsseminar des Dienstleistungszentrums Mikromechanik   Das Seminar gibt einen Überblick der vielfältigen Anwendungen der Finite-Elemente-Methode (FEM) in der Mikrotechnik. Anhand anwendungsorientierter Beispiele werden typische Problemstellungen aus dem Bereich der Sensorik und Aktorik behandelt.   Ziel ist es, die Stärken dieser Simulationsmethode aufzuzeigen und ein gefühl für den notwendigen Aufwand, die wichtigsten beeinflussenden Parameter und die…

FE-Modellierung in der Mikromechanik

Vortrag an der Technische Universität Dresden, Fakultät Elektrotechnik, Institut für Technische Akustik – Barkhausenbau, 2. Dezember 1992   Dipl.-Phys. Thomas Fabula Institut für Mikro- und Informationstechnik, Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., VS-Villingen, Wilhelm-Schickard-Straße 10   Abstract Beim Entwurf von mikromechanischen Bauelementen kommt der Simulation mit Hilfe der Finite-Element-Methode (FEM) eine wichtige Bedeutung zu, da sie…